[1] B. Karunagaran, S. J. Chung, S. Velumani, E.-K. Suh. Mater. Chem. Phys., 106, 130(2007).

[2] J. Jaglarz, M. Jurzecka-Szymacha, S. Kluska. Thin Solid Films, 669, 564(2019).

[3] A. E. T. Kuiper, S. W. Koo, F. H. P. M. Habraken, Y. Tamminga. J. Vac. Sci. Technol. B, 1, 62(1983).

[4] J. Dupuis, E. Fourmond, J. F. Lelièvre, D. Ballutaud, M. Lemiti. Thin Solid Films, 516, 6954(2008).

[5] C. Huber, B. Stein, H. Kalt. Thin Solid Films, 634, 66(2017).

[6] K. Olesko, H. Szymanowski, M. Gazicki-lipman, J. Balcerzak, W. Szymanski, W. Pawlak, A. Sobczyk-guzenda. Mater. Sci. Poland, 36, 56(2018).

[7] M. D. Barankin, T. S. Williams, E. Gonzalez, R. F. Hicks. Thin Solid Films, 519, 1307(2010).

[8] M. Abbasi-Firouzjah, B. Shokri. J. Appl. Phys., 114, 214102(2013).

[9] V. Cech, J. Studynka, B. Cechalova, J. Mistrik, J. Zemek. Surf. Coat. Tech., 202, 5572(2008).

[10] A. Upadhyaya, M. Sheoran, A. Rohatgi, 1273(2005).

[11] T. Lauinger, J. Schmidt, A. G. Aberle, R. Hezel. Appl. Phys. Lett., 68, 1232(1996).

[12] A. del Prado, E. San Andrés, F. L. Martinez, I. Mártil, G. González-Daz, W. Bohne, J. Röhrich, B. Selle, M. Fernández. Vacuum, 67, 507(2002).

[13] I. Koirala, C. Park, S. Lee, D. Choi. Chin. Opt. Lett., 17, 082301(2019).

[14] B. Rangarajan, A. Y. Kovalgin, K. Wörhoff, J. Schmitz. Opt. Lett., 38, 941(2013).

[15] M. F. Ceiler, P. A. Kohl, S. A. Bidstrup. J. Electrochem. Soc., 142, 2067(1995).

[16] I. Guler. Mater. Sci. Eng. B-Adv., 246, 21(2019).

[17] J. Xue, L. Hang, H. Liu. Opt. Tech, 40, 353(2014).

[18] J. Dupuis, E. Fourmond, D. Ballutaud, N. Bererd, M. Lemiti. Thin Solid Films, 519, 1325(2010).

[19] J. Seiffe, L. Weiss, M. Hofmann, L. Gautero, J. Rentsch(2008).

[20] P. Li, L. Hang, J. Xu, L. Li. J. Appl. Opt, 36, 206(2015).

[21] W. Jiang, D. Xu, B. Xiong, Y. Wang. Ceram. Int., 42, 1217(2016).

[22] L. Hang, W. Liu, L. Hang, S. Zhou. Laser & Optoelectron. Progress, 57, 130003(2020).

[23] A. Basak, A. Hati, A. Mondal, U. P. Singh, S. K. Taheruddin. Thin Solid Films, 645, 97(2018).

[24] E. Erdoğan, M. Kundakçı. Microelectron. Eng., 207, 15(2019).

[25] S. H. Ribut, C. A. C. Abdullah, M. Z. M. Yusoff. Results Phys., 13, 102146(2019).

[26] T. Jiang, R. Miao, J. Zhao, Z. Xu, T. Zhou, K. Wei, J. You, X. Zheng, Z. Wang, X. Cheng. Chin. Opt. Lett., 17, 020005(2019).

[27] B. Astinchap, K. G. Laelabadi. J. Phys. Chem. Solids, 129, 217(2019).

[28] W. A. Lanford, M. J. Rand. J. Appl. Phys., 49, 2473(1978).

[29] G. Santana, J. Fandino, A. Ortiz, J. C. Alonso. J. Non-Cryst. Solids, 351, 922(2005).

[30] W. R. Knolle, J. W. Osenbach. J. Appl. Phys., 58, 1248(1985).

[31] J. Thurn, R. F. Cook, M. Kamarajugadda, S. P. Bozeman, L. C. Stearns. J. Appl. Phys., 95, 967(2004).

[32] P. Cova, S. Poulin, O. Grenier, R. A. Masut. J. Appl. Phys., 97, 073518(2005).

[33] P. J. W. Weijs, J. F. van Acker, J. C. Fuggle, P. A. M. van der Heide, H. Haak, K. Horn. Surf. Sci., 260, 102(1992).

[34] G. M. Ingo, N. Zacchetti, D. della Sala, C. Coluzza. J. Vac. Sci. Tech. A, 7, 3048(1989).

[35] V. A. Gritsenko, R. W. N. Kowk, H. Wong, J. B. Xu. J. Non-Cryst. Solids, 297, 96(2002).

[36] S. Naskar, S. D. Wolter, C. A. Bower, B. R. Stoner, J. T. Glass. Appl. Phys. Lett., 87, 261907(2005).

[37] J. R. Shallenberger, D. A. Cole, S. W. Novak. J. Vac. Sci. Tech. A, 17, 1086(1999).

[38] N. Jehanathan, Y. Liu, B. Walmsley, J. Dell, M. Saunders. J. Appl. Phys., 100, 123516(2006).

[39] X. Zhang. Research on anti-reflection coatings by PECVD technology(2010).

[40] T. Begou, H. Krol, D. Stojcevski, F. Lemarchand, M. Lequime, C. Grezes-Besset, J. Lumeau. CEAS Space J., 9, 441(2017).

[41] K. Hendrix. Appl. Opt., 56, C201(2017).

[42] H. Liu, L. Hang, J. Xue. Opt. Instrum., 36, 364(2014).

[43] H. A. Macleod. Thin-Film Optical Filters(2018).