[1] S. Chen, S. Ma, Z. Wang. Chin. Opt. Lett., 14, 123401(2016).

[2] B. Feng, B. Deng, Y. Ren, Y. Wang, G. Du, H. Tan, Y. Xue, T. Xiao. Chin. Opt. Lett., 14, 093401(2016).

[3] J. F. Seely, G. E. Holland, J. V. Giasson. Appl. Opt., 32, 6294(1993).

[4] J. F. Seely, G. E. Holland, T. Boehly, G. Pien, D. Bradley. Appl. Opt., 37, 1140(1998).

[5] K. Hamamoto, Y. Tanaka, S. Y. Lee, N. Hosokawa, N. Sakaya, M. Hosoya, T. Shoki, T. Watanabe, H. Kinoshita. J. Vac. Sci. Technol. B, 23, 2852(2005).

[6] H. Kinoshita, K. Hamamoto, N. Sakaya, M. Hosoya, T. Watanabe. Jpn. J. Appl. Phys., 46, 6113(2007).

[7] S. Herbert, A. Maryasov, L. Juschkin. Proc. SPIE, 7545, 75450O(2010).

[8] F. Barkusky, C. Peth, K. Mann, T. Feigl, N. Kaiser. Rev. Sci. Instrum., 76, 105102(2005).

[9] F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, K. Mann. J. Appl. Phys., 101, 124908(2007).

[10] F. Barkusky, A. Bayer, C. Peth, K. Mann. Proc. SPIE, 6879, 68791M(2008).

[11] M. Richardon, K. Shinohara, K. A. Tanaka, Y. Kinjo, N. Ikeda, M. Kado. Proc. SPIE, 1741, 133(1992).

[12] J. A. Trail, R. L. Byer. Opt. Lett., 14, 539(1989).

[13] J. Voss. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 84, 29(1997).

[14] Y. Iketaki, Y. Horikawa, S. Mochimaru, K. Nagai, T. Kiyokura, M. Oshima, A. Yagishita. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 80, 353(1996).

[15] A. M. Hawryluk, L. G. Seppala. J. Vac. Sci. Technol. B, 6, 2162(1988).

[16] H. Kinoshita, K. Kurihara, Y. Ishii, Y. Torii. J. Vac. Sci. Technol. B, 7, 1648(1989).

[17] J. E. Bjorkhoim, J. Bokor, L. Eichner, R. R. Freeman, J. Gregus, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. Mac Doweli, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, O. R. Wood, J. H. Bruning. J. Vac. Sci. Technol. B., 8, 1509(1990).

[18] X. Wang, B. Mu, L. Jiang, J. Zhu, S. Yi, Z. Wang, P. He. Rev. Sci. Instrum., 82, 123702(2011).

[19] I. A. Artioukov, K. M. Krymski. Opt. Eng., 39, 2163(2000).

[20] X. Wang, Y. Huang, B. Mu, S. Yi, L. Jiang, J. Zhu, Z. Wang, H. Liu, L. Cao, Y. Gu, P. He. Optik, 123, 947(2012).

[21] K. Murakami, T. Oshino, H. Nakamura, M. Ohtani, H. Nagata. Appl. Opt., 32, 7057(1993).

[22] I. A. Artioukov, A. V. Vinogradov, V. E. Asadchikov, Yu. S. Kas’yanov, R. V. Serovet, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin. Opt. Lett., 20, 2451(1995).

[23] Z. Wang, J. Cao, B. Chen, Y. Ma, B. Chen, J. Zhang, Z. Wang, H. Gao, J. Lv, X. Chen. Acta Opt. Sin., 16, 531(1996).

[24] Th. Foltyn, K. Bergmann, S. Braun, P. Gawlitza, A. Leson, W. Neff, K. Walter. Proc. SPIE, 5533, 37(2004).

[25] K. Takase, Y. Kamaji, N. Sakagami, T. Iguchi, M. Tada, Y. Yamaguchi, Y. Fukushima, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita. Jpn. J. Appl. Phys., 49, 06GD07(2010).

[26] X. Wang, B. Mu, Y. Huang, J. Zhu, Z. Wang, P. He. Opt. Precis. Eng., 8, 19(2011).

[27] N. I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. V. Sherbakov, E. V. Skorokhodov, M. V. Svechnikov. Rev. Sci. Instrum., 86, 063701(2015).

[28]

[29] M. Tan, H. Li, Q. Huang, H. Zhou, T. Huo, X. Wang, J. Zhu. Chin. Opt. Lett., 9, 023102(2011).