Optical Instruments, Volume. 47, Issue 3, 44(2025)
Evaluation and calibration of the measurement characteristics of white light interference systems
Figures & Tables(7)
Fig. 4. Structure of the micro-nano 3D standard template （Model: STS）
Table 1. The influence quantities and their sources in WLIS
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影响量 来源 影响量 受影响的 计量特性 光源 λ0 测量波长 纵向测量示值误差 Bλ0 光学测量带宽 S,P,C,E,U 照射到被测表面的光的偏振态 纵向测量示值误差、横向测量示值误差 光学 成像 组件 NA 数值孔径 示值误差、横向周期限 MIMG 相机成像尺寸与被测物尺寸之间的倍率 横向测量示值误差 ΔPATH 波前畸变（由参考臂和测量臂的波前偏差引起的光路净偏差） 纵向测量示值误差 QOPT 所用光学组件的总体质量，包括像差、透过率、对准误差等 示值误差、横向周期限 PDISxy 相机上被放大图像的横向失真 示值误差、横向周期限 UI（x,y） 照度均匀性 示值误差 图像 传感器 Δx x方向的像素间距 横向周期限 Δy y方向的像素间距 控制 采集 软件 Vz 扫描速度 纵向测量示值误差 zTOT 扫描长度 Δz 扫描步长 Δz-LIN 扫描线性度 TI 扫描时间 纵向分辨力（测量噪声） Dz z方向扫描步距 纵向分辨力（测量噪声） 分析校 准软件 （含校准 标样） AALG 测量算法 纵向测量示值误差 DMOD 条纹强度调制阈值，可识别为干涉条纹的最小峰谷强度变化 Cz 纵向校准系数 Cxy 横向校准系数 横向测量示值误差 测量运动平台及 仪器整体 Dx或Dy 横向采样间距 横向周期限 NVIB 环境振动 纵向分辨力（测量噪声） NI 仪器噪声 xHYS,yHYS,zHYS 迟滞 示值误差
Table 2. The objective magnification and the working distance
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放大倍率 2.5 5 10 20 50 100 工作距离/mm 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2
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Xiaoyu CAI, Junjie WU, Jiasi WEI. Evaluation and calibration of the measurement characteristics of white light interference systems[J]. Optical Instruments, 2025, 47(3): 44
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Received: Jun. 17, 2024
Accepted: --
Published Online: Jul. 28, 2025
The Author Email: Jiasi WEI (weijs@simt.com.cn)
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