[1] [1] 1王龙， 汪刘应， 刘顾， 等.硬脆材料切削加工碎裂损伤研究进展［J］. 工具技术， 2021， 55（10）： 3-8. doi: 10.3969/j.issn.1000-7008.2021.10.001WANGL， WANGL Y， LIUG， et al.Research progress on cataclastic damage of hard and brittle materials in cutting［J］. Tool Engineering， 2021， 55（10）： 3-8.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1000-7008.2021.10.001

[2] ANTWI E K, LIU K, WANG H. A review on ductile mode cutting of brittle materials[J]. Frontiers of Mechanical Engineering, 13, 251-263(2018).

[3] XIAO G B, JELENKOVIĆ E V. Effects of non-amorphizing hydrogen ion implantation on anisotropy in micro cutting of silicon[J]. Journal of Materials Processing Technology, 225, 439-450(2015).

[4] WANG J S, ZHANG X D, FANG F Z et al. Diamond cutting of micro-structure array on brittle material assisted by multi-ion implantation[J]. International Journal of Machine Tools and Manufacture, 137, 58-66(2019).

[5] CHEN X, LIU C L, KE J Y et al. Subsurface damage and phase transformation in laser-assisted nanometric cutting of single crystal silicon[J]. Materials & Design, 190, 108524(2020).

[6] [6] 6张文生， 张飞虎， 董申.光学脆性材料的金刚石切削加工［J］. 光学 精密工程， 2003， 11（2）： 139-143. doi: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.007ZHANGW SH， ZHANGF H， DONGSH.Diamond cutting of optical brittle materials［J］. Opt. Precision Eng.， 2003， 11（2）： 139-143.（in Chinese）. doi: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.007

[7] [7] 7王紫光， 康仁科， 周平， 等.单晶硅反射镜的超精密磨削工艺［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（5）： 1087-1095. doi: 10.3788/OPE.20192705.1087WANGZ G， KANGR K， ZHOUP， et al.Ultra-precision grinding of monocrystalline silicon reflector［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（5）： 1087-1095.（in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20192705.1087

[8] [8] 8徐领娣， 房安利， 于建海， 等.微晶材质自由曲面反射镜精密超声铣磨加工技术［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（12）： 2564-2570. doi: 10.3788/OPE.20192712.2564XUL D， FANGA L， YUJ H， et al.Ultrasonic-vibration assisted grinding of a zerodour freeform optical mirror［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（12）： 2564-2570.（in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20192712.2564

[9] [9] 9罗斌， 阎秋生.磁流变抛光非球柱面镜的新工艺［J］. 金刚石与磨料磨具工程， 2019， 39（2）： 64-71.LUOB， YANQ SH.New technology to magnetorheological finishing aspheric cylindrical mirror［J］. Diamond ＆ Abrasives Engineering， 2019， 39（2）： 64-71.（in Chinese）

[10] KHATRI N, SHARMA R, MISHRA V et al. Single point diamond turning of silicon for flat X-rays mirrors[J]. Advanced Materials Proceedings, 2, 425-427(2021).

[11] TANG L L, ZHOU T F, ZHOU J et al. Research on single point diamond turning of chalcogenide glass aspheric lens[J]. Procedia CIRP, 71, 293-298(2018).

[12] [12] 12赵清亮， 郭兵， 杨辉， 等.金刚石飞切加工微结构表面的工艺参数优化［J］. 光学 精密工程， 2009， 17（10）： 2512-2519. doi: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.10.025ZHAOQ L， GUOB， YANGH， et al.Technological parameter optimization of micro-structured surfaces by diamond fly-cutting［J］. Opt. Precision Eng.， 2009， 17（10）： 2512-2519.（in Chinese）. doi: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.10.025

[13] SUN Z W, YU K M. Feasibility investigation on ductile machining of single-crystal silicon for deep micro-structures by ultra-precision fly cutting[J]. Journal of Manufacturing Processes, 45, 176-187(2019).

[14] SUN Z W, YU K M. An investigation in the ultra-precision fly cutting of freeform surfaces on brittle materials with high machining efficiency and low tool wear[J]. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 101, 1583-1593(2019).

[15] SUN Z W, WANG S J et al. Development of self-tuned diamond milling system for fabricating infrared micro-optics arrays with enhanced surface uniformity and machining efficiency[J]. Optics Express, 28, 2221(2020).