[1] Z. U. Rehman, K. A. Janulewicz. Appl. Surf. Sci., 385, 1(2016).

[2] Y. Cheng, X. Huang, Z. Du, J. Xiao. Opt. Mater., 73, 723(2017).

[3] Q. Gong, J. Shen, J. Xie. J. Synth. Cryst., 7, 1898(2016).

[4] J. Q. Wang, X. L. Tian, B. G. Zhang, P. X. Wang. China Surf. Eng., 3, 81(2013).

[5] A. N. Samant, N. B. Dahotre. J. Eur. Ceram. Soc., 29, 969(2009).

[6] J. Meijer, K. Du, A. Gillner, D. Hoffmann, V. S. Kovalenko, T. Masuzawa, A. Ostendorf, R. Poprawe, W. Schulz. CIRP Ann., 51, 531(2002).

[7] C. G. Moura, R. S. F. Pereira, M. Andritschky, A. L. B. Lopes, J. P. D. F. Grilo, R. M. D. Nascimento, F. S. Silva. Opt. Laser Technol., 97, 20(2017).

[8] M. Cai, X. Zhang, W. Zhang, L. Ji, J. Jiao, H. P. Qiu. Aeronaut. Manuf. Technol., 19, 52(2016).

[9] M. S. Amer, M. A. El-Ashry, L. R. Dosser, K. E. Hix, J. F. Maguire, B. Irwin. Appl. Surf. Sci., 242, 162(2005).

[10] X. Li. Study on the surface roughness control model of SiC in femtosecond laser processing, 72(2016).

[11] P. Baeri, C. Spinella, R. Reitano. Int. J. Thermophys., 20, 1211(1999).

[12] D. Sciti, C. Melandri, A. Bellosi. J. Mater. Sci., 35, 3799(2000).

[13] X. Hua, X. Wei, M. Zhou, X. Xie. Chin. J. Lasers., 41, 1203002(2014).

[14] X. Xie, X. Huang, W. Chen, X. Wei, W. Hu, R. Che. Chin. J. Lasers, 40, 1203010(2013).

[15] L. Li. The research of 248 nm excimer laser interaction with three kinds of inorganic nonmetal optical materials, 72(2014).

[16] D. H. Duc, I. Naoki, F. Kazuyoshi. Int. J. Heat Mass Transfer, 65, 713(2013).

[17] C. Dutto, E. Fogarassy, D. Mathiot. Appl. Surf. Sci., 184, 362(2001).

[18] R. Zhang. Machining technology and properties investigation of SiC/SiC composites by ultra-short pulse laser,”, 89(2016).

[19] S.-K. Shin, C. Huang, F.-S. Yu. Acta. Phys. Sin., 20, 654(1964).

[20] K. Daviau, K. K. M. Lee. Phys. Rev. B, 96, 174102(2017).

[21] D. Amans, M. Diouf, J. Lam, G. Ledoux, C. Dujardin. J. Colloid Interface Sci., 489, 114(2017).

[22] A. J. Pedraza. Nucl. Instrum. Meth. B, 141, 709(1998).

[23] S. V. Babu, G. C. D. D. Egitto. J. Appl. Phys., 72, 692(1992).