[1] MDANDA S, UBANAKO P, KONDIAH P P D et al. Recent advances in microneedle platforms for transdermal drug delivery technologies[J]. Polymers, 13, 2405(2021).

[2] [2] 潘奕璇， 张扬熙， 史雪莹， 等. 通过柔性微针阵列集成的叉指电极装置产生电刺激用于癌症免疫治疗［J］. 科学通报 （英文版）， 2023， 9（22）： 2779-2792， M0005， M0006.PANY X， ZHANGY X， SHIX Y， et al. Electrical stimulation induces anti-tumor immunomodulation via a flexible microneedle-array-integrated interdigital electrode［J］. Science Bulletin2023， 9（22）： 2779-2792， M0005， M0006.（in Chinese）

[3] LIU T T, CHEN K, WANG Q. Skin drug permeability and safety through a vibrating solid micro-needle system[J]. Drug Delivery and Translational Research, 8, 1025-1033(2018).

[4] [4] 李东玲， 尚正国， 王胜强， 等. 硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用［J］. 强激光与粒子束， 2015， 27（2）： 024113.LID L， SHANGZ G， WANGS Q， et al. Fabrication of silicon tip array and its application in vacuum microelectronic accelerometer［J］. High Power Laser and Particle Beams， 2015， 27（2）： 024113.（in Chinese）

[5] [5] 李璐， 张金英， 杨天辰， 等. 基于硅尖阵列的SF6传感器制备及特性研究［J］. 仪表技术与传感器， 2017（7）： 15-19.LIL， ZHANGJ Y， YANGT C， et al. Fabrication and properties of SF6 sensor based on silicon tips array［J］. Instrument Technique and Sensor， 2017（7）： 15-19.（in Chinese）

[6] [6] 马圆圆， 王秀霞， 周典法， 等. 柔性集成化微针生物传感器研究［J］. 传感器与微系统， 2023， 42（11）： 11-14， 18.MAY Y， WANGX X， ZHOUD F， et al. Study on flexible integrated microneedle biosensor［J］. Transducer and Microsystem Technologies， 2023， 42（11）： 11-14， 18.（in Chinese）

[7] RUGGIERO F, VECCHIONE R, BHOWMICK S et al. Electro-drawn polymer microneedle arrays with controlled shape and dimension[J]. Sensors and Actuators B： Chemical, 255, 1553-1560(2018).

[8] XENIKAKIS I, TZIMTZIMIS M, TSONGAS K et al. Fabrication and finite element analysis of stereolithographic 3D printed microneedles for transdermal delivery of model dyes across human skin in vitro[J]. European Journal of Pharmaceutical Sciences： Official Journal of the European Federation for Pharmaceutical Sciences, 137, 104976(2019).

[9] CHEN B Z, HE M C, ZHANG X P et al. A novel method for fabrication of coated microneedles with homogeneous and controllable drug dosage for transdermal drug delivery[J]. Drug Delivery and Translational Research, 12, 2730-2739(2022).

[10] DU L Q, WANG Z Z, RUAN X P et al. Fabrication of SU-8 microneedle based on backside exposure technology[J]. Key Engineering Materials, 645/646, 853-858(2015).

[11] LI H. Microfabrication techniques for producing freestanding multi-dimensional microstructures[J]. Microsystem Technologies, 22, 223-237(2016).

[12] [12] 代柏妍， 常明， 陈龙飞， 等. 微针的制备及应用研究［J］. 化学通报， 2022， 85（10）： 1186-1195， 1242.DAIB Y， CHANGM， CHENL F， et al. Study on preparation and application of microneedles［J］. Chemistry， 2022， 85（10）： 1186-1195， 1242.（in Chinese）

[13] [13] 王洁， 王欢， 吴文渊， 等. 微针加工技术的最新研究进展［J］. 微纳电子技术， 2020， 57（11）： 918-930， 946.WANGJ， WANGH， WUW Y， et al. Latest research progress of microneedle processing technology［J］. Micronanoelectronic Technology， 2020， 57（11）： 918-930， 946.（in Chinese）

[14] [14] 李志彪， 闫肖肖， 唐刚， 等. 医用给药硅实心微针的切割与湿法刻蚀结合的制备工艺研究［J］. 机械设计与制造， 2017（8）： 113-115.LIZ B， YANX X， TANGG， et al. Research of fabricating transdermal drug delivery solid silicon microneedles based on dicing and wet etch［J］. Machinery Design & Manufacture， 2017（8）： 113-115.（in Chinese）

[15] [15] 刘伟伟， 吕菲， 常耀辉， 等. MEMS中硅各向异性腐蚀特性研究［J］. 电子工业专用设备， 2018， 47（4）： 14-17.LIUW W， LVF， CHANGY H， et al. The study of anisotropic etching characteristics of silicon in MEMS［J］. Equipment for Electronic Products Manufacturing， 2018， 47（4）： 14-17.（in Chinese）

[16] [16] 祝福生， 夏楠君， 赵宝君， 等. 湿法刻蚀提高硅刻蚀均匀性技术研究［J］. 电子工业专用设备， 2019， 48（5）： 13-16.ZHUF S， XIAN J， ZHAOB J， et al. Research on technology of improving silicon etching uniformity by wet etching［J］. Equipment for Electronic Products Manufacturing， 2019， 48（5）： 13-16.（in Chinese）

[17] LINDQUIST N C, NAGPAL P, MCPEAK K M et al. Engineering metallic nanostructures for plasmonics and nanophotonics[J]. Reports on Progress in Physics Physical Society （Great Britain）, 75(2012).

[18] PAN L D, WU W Q, LIU J J et al. Ultrasonic plasticization microinjection precision molding of polypropylene microneedle arrays[J]. ACS Applied Polymer Materials, 5, 9354-9363(2023).

[19] LEE S H, LEE H H, CHOI S S. Nanoparticle Popsicle： Transdermal delivery of nanoparticles using polymeric microneedle array[J]. Korean Journal of Chemical Engineering, 28, 1913-1917(2011).

[20] CHOI S O, KIM Y C, PARK J H et al. An electrically active microneedle array for electroporation[J]. Biomedical Microdevices, 12, 263-273(2010).

[21] HENZIE J, KWAK E S, ODOM T W. Mesoscale metallic Pyramids with nanoscale tips[J]. Nano Letters, 5, 1199-1202(2005).

[22] [22] 胡亚明， 梁军生， 杨金鹤， 等. 模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖［J］. 光学 精密工程， 2020， 28（7）： 1500-1509.HUY M， LIANGJ S， YANGJ H， et al. Preparation of pyramidal Ni nano-tips using template-microelectroforming technique［J］. Optics and Precision Engineering， 2020， 28（7）： 1500-1509.（in Chinese）

[23] HU Y M, SU S J, LIANG J S et al. Facile and scalable fabrication of Ni cantilever nanoprobes using silicon template and micro-electroforming techniques for nano-tip focused electrohydrodynamic jet printing[J]. Nanotechnology, 32, 105301(2021).

[24] [24] 郑晓虎. SU-8胶微结构的显影技术研究［J］. 微纳电子技术， 2008， 45（3）： 170-173.ZHENGX H. Research on the development technique of SU-8 resist microstructure［J］. Micronanoelectronic Technology， 2008， 45（3）： 170-173.（in Chinese）

[25] [25] 杜立群， 袁博文， 孔德健， 等. 大高宽比阶梯型铜微柱阵列的制作［J］. 航空制造技术， 2023， 66（10）： 14-20.DUL Q， YUANB W， KONGD J， et al. Fabrication of large aspect ratio stepped copper microcolumn array［J］. Aeronautical Manufacturing Technology， 2023， 66（10）： 14-20.（in Chinese）

[26] [26] 张晓蕾. 超声提高SU-8光刻胶/金属基底界面结合强度研究［D］. 大连： 大连理工大学， 2015.ZHANGX L. Study on Improving the Interfacial Bonding Strength of SU-8 Photoresist/metal Substrate by Ultrasound［D］. Dalian： Dalian University of Technology， 2015. （in Chinese）

[27] [27] 张笛， 王英， 瞿敏妮， 等. SU-8光刻胶去胶工艺研究［J］. 微电子学， 2020， 50（6）： 910-913.ZHANGD， WANGY， QUM N， et al. Research on SU-8 photoresist stripping process［J］. Microelectronics， 2020， 50（6）： 910-913.（in Chinese）