[1] W. Cai, V. Shalaev. Optical Metamaterials: Fundamentals and Applications(2010).

[2] M. Liu, W. Zhu, P. Huo, L. Feng, M. Song, C. Zhang, H. J. Lezec, Y. Lu, A. Agrawal, T. Xu. Light Sci. Appl., 10, 107(2021).

[3] N. J. Ray, J.-H. Yoo, H. T. Nguyen, M. Norton, D. Cross, C. W. Carr, E. Feigenbaum. Appl. Opt., 62, 8219(2023).

[4] H. A. Atikian, N. Sinclair, P. Latawiec, X. Xiong, S. Meesala, S. Gauthier, D. Wintz, J. Randi, D. Bernot, S. DeFrances, J. Thomas, M. Roman, S. Durrant, F. Capasso, M. Lončar. Nat. Commun., 13, 2610(2022).

[5] N. Bonod, P. Brianceau, J. Daurios, S. Grosjean, N. Roquin, J.-F. Gleyze, L. Lamaignère, J. Neauport. Nat. Commun., 14, 5383(2023).

[6] S. J. Wilson, M. C. Hutley. Opt. Acta: Int. J. Opt., 29, 993(1982).

[7] D. Hobbs, B. MacLeod. Proc. SPIE, 5786, 349(2005).

[8] M. Modaresialam, N. Granchi, M. Stehlik, C. Petite, S. Delegeanu, A. Gourdin, M. Bouabdellaoui, F. Intonti, B. Kerzabi, D. Grosso, L. Gallais, M. Abbarchi. Opt. Express, 32, 12967(2024).

[9] D. Hobbs, B. MacLeod, J. Riccobono. Proc. SPIE, 6545, 65450Y(2007).

[10] D. Hobbs, B. MacLeod, E. Sabatino. Proc. SPIE, 8530, 85300O(2012).

[11] N. J. Ray, J.-H. Yoo, H. T. Nguyen, E. Feigenbaum. Adv. Opt. Mater., 10, 2200151(2022).

[12] A. Papadopoulos, E. Skoulas, A. Mimidis, G. Perrakis, G. Kenanakis, G. D. Tsibidis, E. Stratakis. Adv. Mater., 31, 1901123(2019).

[13] E. Skoulas, A. Mimidis, A. Papadopoulos, A. Lemonis, E. Stratakis. PhotonicsViews, 19, 46(2022).

[14] M. Mende, L. Jensen, H. Ehlers, S. Bruns, M. Vergöhl, P. Burdack, D. Ristau. Proc. SPIE, 8530, 85300W(2012).

[15] A. A. Kozlov, J. C. Lambropoulos, J. B. Oliver, B. N. Hoffman, S. G. Demos. Sci. Rep., 9, 607(2019).

[16] R. A. Negres, C. J. Stolz, K. R. P. Kafka, E. A. Chowdhury, M. Kirchner, K. Shea, M. Daly. Proc. SPIE, 10014, 100140E(2016).

[17] T. Z. Kosc, A. A. Kozlov, S. Papernov, K. R. P. Kafka, K. L. Marshall, S. G. Demos. Sci. Rep., 9, 16435(2019).

[18] A. A. Kozlov, S. Papernov, J. B. Oliver, A. Rigatti, B. Taylor, B. Charles, C. Smith. Proc. SPIE, 10014, 100141Y(2017).

[19] K. R. P. Kafka, T. Z. Kosc, S. G. Demos. Opt. Eng., 61, 071605(2022).

[20] L. Smalakys, B. Momgaudis, R. Grigutis, S. Kičas, A. Melninkaitis. Opt. Express, 27, 26088(2019).

[21] B. Boizot, S. Agnello, B. Reynard, R. Boscaino, G. Petite. J. Non-Cryst. Solids, 325, 22(2003).

[22] N. C. Mishra Mohanty, S. V. Bhat, P. K. Basu, D. Kanjilal. J. Phys. D, 36, 3151(2003).

[23] S. Nagata, S. Yamamoto, K. Toh, B. Tsuchiya, N. Ohtsu, T. Shikama, H. Naramoto. J. Nucl. Mater., 329–333, 1507(2004).

[24] C. D. Marshall, J. A. Speth, S. A. Payne. J. Non-Cryst. Solids, 212, 59(1997).

[25] F. Messina, L. Vaccaro, M. Cannas. Phys. Rev. B, 81, 035212(2010).

[26] S. O. Kucheyev, S. G. Demos. Appl. Phys. Lett., 82, 3230(2003).

[27] A. Zoubir, C. Rivero, R. Grodsky, K. Richardson, M. Richardson, T. Cardinal, M. Couzi. Phys. Rev. B, 73, 224117(2006).

[28] V. De Michele, E. Marin, A. Boukenter, M. Cannas, S. Girard, Y. Ouerdane. Phys. Status Solidi A, 218, 2000802(2021).

[29] S. G. Demos, A. Burnham, P. Wegner, M. Norton, L. Zeller, M. Runkel, M. R. Kozlowski, M. Staggs, H. B. Radousky. Electron. Lett., 36, 566(2000).

[30] A. K. Burnham, M. J. Runkel, S. G. Demos, M. R. Kozlowski, P. J. Wegner. Proc. SPIE, 4134, 243(2000).

[31] D. N. Nguyen, L. A. Emmert, P. Schwoebel, D. Patel, C. S. Menoni, M. Shinn, W. Rudolph. Opt. Express, 19, 5690(2011).

[32] S.-Z. Xu, H.-B. Lv, X.-D. Yuan, J. Huang, X.-D. Jiang, H.-J. Wang, X.-T. Zu, W.-G. Zheng. Chin. Phys. Lett., 25, 223(2008).

[33] R. Dent, A. L. Rigatti, A. A. Kozlov, S. G. Demos, A. Shestopalov. , , , , and , “Investigation of inductively coupled plasma reactive ion etching for multilayer dielectric grating fabrication,” submitted to Optics Express ().(2025).