[1] [1] 1尹云飞， 刘兆武， 吉日嘎兰图， 等. 二维光栅位移测量技术综述［J］. 中国光学， 2020， 13（6）：1224-1238. doi: 10.37188/co.2020-0237YINY F， LIUZH W， JIR， et al. Overview of 2D grating displacement measurement technology［J］. Chinese Journal of Optics， 2020， 13（6）：1224-1238.（in Chinese）. doi: 10.37188/co.2020-0237

[2] [2] 2赵美红， 李文昊， 巴音贺希格， 等. Offner成像光谱仪的消像差技术［J］. 光学 精密工程， 2017， 25（12）： 3001-3011. doi: DFCEB5921793B89D982A030F59C061E3ZHAOM H， LIW H， BAYINHEXIGE， et al. Aberration correction technique of Offner imaging spectrometer［J］. Opt. Precision Eng.， 2017， 25（12）： 3001-3011. （in Chinese）. doi: DFCEB5921793B89D982A030F59C061E3

[3] [3] 3张锐， 潘明忠， 杨晋， 等. 基于数字微镜器件的中阶梯光栅光谱仪的光学系统设计［J］. 光学 精密工程， 2017， 25（12）： 2994-3000. doi: 10.3788/OPE.20172512.2994ZHANGR， PANM ZH， YANGJ， et al. Optical system design of stepped grating spectrometer based on digital micromirror device［J］. Opt. Precision Eng.， 2017， 25（12）： 2994-3000.（in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20172512.2994

[4] MI X T, ZHANG S W, QI X D et al. Effect of the changes in refractive index of air on grating diffraction wavefront[J]. Optics Communications, 457, 124716(2020).

[5] GAO J, CHEN P, WU L et al. A review on fabrication of blazed gratings[J]. Journal of Physics D： Applied Physics, 54, 313001(2021).

[6] LI H, PENG X Q, GUAN C L et al. Progress in the preparation and characterization of convex blazed gratings for hyper-spectral imaging spectrometer： a review[J]. Micromachines, 13, 1689(2022).

[7] TOULOUSE A, DROZELLA J, THIELE S et al. 3D-printed miniature spectrometer for the visible range with a 100×100 μm² footprint[J]. Light： Advanced Manufacturing, 12-22(2021).

[8] SHANMUGAM P, LIGHT A, TURLEY A et al. Variable shearing holography with applications to phase imaging and metrology[J]. Light： Advanced Manufacturing, 3, 1(2022).

[9] LI X T, ZHANG S W et al. Ruling of echelles and gratings with a diamond tool by the torque equilibrium method[J]. Applied Optics, 55, 8082-8088(2016).

[10] [10] 10唐玉国， 巴音贺希格， 竺长安， 等. 揭秘 “精密机械之王”［J］. 中国基础科学， 2018， 20（2）： 48-52， 62. doi: 10.3969/j.issn.1009-2412.2018.02.007TANGY G， BAYANHESHIG，ZHUCH A， et al. Uncover the king of precision machinery［J］. China Basic Science， 2018， 20（2）： 48-52， 62.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1009-2412.2018.02.007

[11] LI X T, MI X T. Development of a parameterized mechanical model of a chisel-edge grating ruling tool[J]. Precision Engineering, 50, 388-392(2017).

[12] [12] 12王志学， 刘献礼， 李茂月， 等. 切削加工颤振智能监控技术［J］. 机械工程学报， 2020， 56（24）： 1-23. doi: 10.3901/JME.2020.24.001WANGZH X， LIUX L， LIM Y， et al. Intelligent monitoring technology of cutting chatter［J］. Journal of Mechanical Engineering， 2020， 56（24）： 1-23.（in Chinese）. doi: 10.3901/JME.2020.24.001

[13] KATIYAR S, JAISWAL M, PRATAP NARAIN R et al. A short review on investigation and suppression of tool chatter in turning operation[J]. Materials Today： Proceedings, 51, 1206-1210(2022).

[14] HUANG P L, LI J F, SUN J et al. Milling force vibration analysis in high-speed-milling titanium alloy using variable pitch angle mill[J]. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 58, 153-160(2012).

[15] FENG J L, SUN Z L, JIANG Z H et al. Identification of chatter in milling of Ti-6Al-4V titanium alloy thin-walled workpieces based on cutting force signals and surface topography[J]. International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 82, 1909-1920(2015).

[16] [16] 16赵彤， 蔡晨同， 王永飞， 等. 球头铣刀铣削薄板件颤振预测［J］. 清华大学学报（自然科学版）， 2022， 62（9）： 1474-1483.ZHAOT， CAICH T， WANGY F， et al. Flutter prediction of ball-end milling cutter milling thin plate parts［J］. Journal of Tsinghua University （Science and Technology）， 2022， 62（9）： 1474-1483.（in Chinese）

[17] CHOCKALINGAM S, RAMABALAN S, GOVINDAN K. Chatter control and stability analysis in cantilever boring bar using FEA methods[J]. Materials Today： Proceedings, 33, 2577-2580(2020).

[18] [18] 18石广丰， 吕杨杨， 史国权， 等. 光栅机械刻划摩擦型颤振机理［J］. 光学 精密工程， 2014， 22（11）：3061-3066. doi: 10.3788/ope.20142211.3061SHIG F， LÜY Y， SHIG Q， et al. Mechanism of frictional chatter during mechanical ruling grating［J］. Opt. Precision Eng.， 2014， 22（11）：3061-3066.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20142211.3061

[19] GAO J, SONG Q, LIU Z Q. Chatter detection and stability region acquisition in thin-walled workpiece milling based on CMWT[J]. International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 98, 699-713(2018).

[20] [20] 20陈磊， 钟凯， 朱涛， 等. 高超声速风洞试验段环境飞行器颤振的视觉三维测量［J］. 光学 精密工程， 2021， 29（8）： 1811-1821. doi: 10.37188/OPE.2021.0169CHENL， ZHONGK， ZHUT， et al. Visual three-dimensional measurement of aircraft flutter in hypersonic wind tunnel tests［J］. Opt. Precision Eng.， 2021， 29（8）： 1811-1821.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.2021.0169

[21] [21] 21李茂月， 刘硕， 田帅， 等. 薄壁件铣削加工颤振的图像特征提取与识别［J］. 吉林大学学报（工学版）， 2022， 52（2）： 425-432.LIM Y， LIUSH， TIANSH， et al. Image feature extraction and recognition of milling chatter of thin-walled parts［J］. Journal of Jilin University （Engineering and Technology Edition）， 2022， 52（2）： 425-432.（in Chinese）

[22] ALTINTAS Y, WECK M. Chatter stability of metal cutting and grinding[J]. CIRP Annals, 53, 619-642(2004).

[23] [23] 23魏传新， 陈洪达， 尹达一. 基于交叉簧片柔性铰链的空间微位移机构［J］. 光学 精密工程， 2015， 23（11）：3168-3175. doi: 10.3788/ope.20152311.3168WEICH X， CHENH D， YIND Y. Spatial compliant micro-displacement magnifying mechanism based on cross-spring flexural pivot［J］. Opt. Precision Eng.， 2015， 23（11）：3168-3175.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20152311.3168

[24] [24] 24吴昊， 李宗轩， 张德福， 等. 交叉簧片柔性铰链设计［J］. 中国机械工程， 2022， 33（10）：1203-1209. doi: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.10.009WUH， LIZ X， ZHANGD F， et al. Design of cross-spring flexure hinges［J］. China Mechanical Engineering， 2022， 33（10）：1203-1209.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.10.009