Fig. 1. （a） Schematic diagram of the epitaxial layer structure； （b）~（d） schematic diagrams of Micro-LED structures； （e） optical microscope image of Micro-LED； （f） electroluminescence （EL） spectra of the epitaxial layers

Fig. 2. Current density-voltage characteristic curves of S1， S2， S3 before （a） and after （b） the sidewall repair； optical power density-current density characteristic curves of S1， S2， S3 before （c） and after （d） the sidewall repair

Fig. 3. Simulation results of Micro-LEDs of different sizes （without considering sidewall effects）. （a） Current density-voltage characteristic curves； （b） optical power density-current density characteristic curves； （c） relationship curves between IQE and current density； （d） lateral distribution of carrier concentration in the quantum wells （the small inset in the figure is a schematic diagram of the data extraction position）

Fig. 4. Schematic diagram of the device current path. （a） Single mesa； （b） arrayed mesa

Fig. 5. Current density-voltage characteristic curves of S3， S4， S5 before （a） and after （b） sidewall repair； optical power density-current density characteristic curves of S3， S4， S5 before （c） and after （d） sidewall repair