[1] [1] H. Tiznado, Abstr. Pap. Am. Chem. S. 229, U660 (2005).

[2] [2] R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 97, 121301 (2005).

[3] [3] C. H. L. Goodman and M. V. Pessa, J. Appl. Phys. 60, R65 (1986).

[4] [4] E. Langereis, J. Keijmel, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, Appl. Phys. Lett. 92, 231904 (2008).

[5] [5] T. Suntola, Thin Solid Films 216, 84 (1992).

[6] [6] M. Ritala, M. Leskela, J. P. Dekker, C. Mutsaers, P. J. Soininen, and J. Skarp, Chem. Vapor. Depos. 5, 7 (1999).

[7] [7] T. Alasaarela, T. Saastamoinen, J. Hiltunen, A. Saynatjoki, A. Tervonen, P. Stenberg, M. Kuittinen, and S. Honkanen, Appl. Opt. 49, 4321 (2010).

[8] [8] O. Apel, K. Mann, A. Zoeller, R. Goetzelmann, and E. Eva, Appl. Opt. 39, 3165 (2000).

[9] [9] S. Jakschik, U. Schroeder, T. Hecht, D. Krueger, G. Dollinger, A. Bergmaier, C. Luhmann, and J. W. Bartha, Appl. Surf. Sci. 211, 352 (2003).

[10] [10] J. Aarik, A. Aidla, A. A. Kiisler, T. Uustare, and V. Sammelselg, Thin Solid Films 305, 270 (1997).

[11] [11] S. Jakschik, U. Schroeder, T. Hecht, M. Gutsche, H. Seidl, and J. W. Bartha, Thin Solid Films 425, 216 (2003).

[12] [12] P. Kumar, M. K. Wiedmann, C. H.Winter, and I. Avrutsky, Appl. Opt. 48, 5407 (2009).

[13] [13] M. K. Nowotny, T. Bak, and J. Nowotny, J. Phys. Chem. B 110, 16270 (2006).

[14] [14] N. Soga and O. L. Anderson, J. Am. Ceram. Soc. 49, 355 (1966).