[1] [1] A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, B. T. Sullivan, and J. A. Dobrowolski, Appl. Opt. 36, 7188 (1997).

[2] [2] J. A. Dobrowolski and P. G. Verly, Proc. SPIE 2046, (1993).

[3] [3] D. P. Arndt, R. M. A. Azzam, J. M. Bennett, J. P. Borgogno, C. K. Carniglia, W. E. Case, J. A. Dobrowolski, U. J. Gibson, T. T. Hart, F. C. Ho, V. A. Hodgkin, W. P. Klapp, H. A. Macleod, E. Pelletier, M. K. Purvis, D. M. Quinn, D. H. Strome, R. Swenson, P. A. Temple, and T. F. Thonn, Appl. Opt. 23, 3571 (1984).

[4] [4] B. Bovard, F. J. Van Milligen, M. J. Messerly, S. G. Saxe, and H. A. Macleod, Appl. Opt. 12, 1803 (1985).

[5] [5] J. P. Borgogno, F. Flory, P. Roche, B. Schmitt, G. Albrand, E. Pelletier, and H. A. Macleod, Appl. Opt. 23, 3567 (1984).

[6] [6] Y. Taki, Vacuum 74, 431 (2004).

[7] [7] M. Vijayakumar, S. Selvasekarapandian, T. Gnanasekarah, S. Fujihara, and S. Koji, J. Fluorine Chem. 125, 1119 (2004).

[8] [8] M. C. Liu, C. C. Lee, M. Kaneko, K. Nakahira, and Y. Takano, Opt. Eng. 45, 083801 (2006).

[9] [9] J. H. Lee and C. K. Hwangbo, Surf. Coating. Tech. 128, 280 (2000).

[10] [10] S. Humphrey, Appl. Opt. 21, 4660 (2007).

[11] [11] N. K. Sahoo and A. P. Shapiro, Appl. Opt. 4, 698 (1998).

[12] [12] Z. Wu and B. Wu, The Growth of Thin Film (in Chinese) (Science Press, Beijing, 2001) pp. 181-187.