High Power Laser Science and Engineering, Volume. 13, Issue 3, 03000e38(2025)

Fabrication of ultra-low-absorption thin films via ion beam-assisted electron-beam evaporation

Ruichen Song1...2, Jiaqi Hu2, Yunqi Peng2, Ying’ao Xiao2, Yuxiang Wang2, Kongxu Zhu2, Yuheng Jiang2, Xusheng Xia1,2,*, and Zhilin Xia12,* |Show fewer author(s)
Author Affiliations
  • 1State Key Laboratory of Advanced Glass Materials, Wuhan University of Technology, Wuhan, China
  • 2School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, China
  • show less
    References(54)

    [1] W. Zhang, T. Xian, W. Wang, L. Zhan. J. Opt. Soc. Am. B, 39, 3159(2022).

    [2] F. Meylahn, N. Knust, B. Willke. Phys. Rev. D, 105, 122004(2022).

    [3] V. Georgios, M. Giacomo, B. James, B. Robert, G. Gianluca. Class. Quantum Gravity, 40, 155006(2023).

    [4] B. C. Nichol, R. Srinivas, D. P. Nadlinger, P. Drmota, D. Main, G. Araneda, C. J. Ballance, D. M. Lucas. Nature, 609, 689(2022).

    [5] X. Li, B. Zhang, M. Lin, L. Qi. Optoelectron. Lett., 1, 209(2005).

    [6] T. W. Murphy, E. G. Adelberger, J. B. R. Battat, C. D. Hoyle, N. H. Johnson, R. J. Mcmillan, E. L. Michelsen, C. W. Stubbs, H. E. Swanson. Icarus, 211, 1103(2011).

    [7] D. Li, X. Niu, J. Xia, H. Jiao, X. Dun, J. Zhang, X. Cheng, Z. Wang. Opt. Commun., 552, 130034(2024).

    [8] J. Wen, M. Zhu, J. Sun, J. Li, J. Shao. Acta Opt. Sinica, 42, 0700001(2022).

    [9] Y. Guo, J. Robertson. Microelectron. Eng., 147, 254(2015).

    [10] W. Ren, G. D. Yang, A. L. Feng, R. X. Miao, J. B. Xia, Y. G. Wang. J. Adv. Ceram., 10, 704(2021).

    [11] Q. Lv, M. Huang, S. Zhang, S. Deng, F. Gong, F. Wang, Y. Pan, G. Li, Y. Jin. Coatings, 8, 150(2018).

    [12] C. Chen, Y. Wang, J. Feng, Z. Wang, Y. Chen, Y. Lu, Y. Zhang, D. Li, Y. Cui, J. Shao. Opt. Mater., 136, 113349(2023).

    [13] S. Sayah, B. Sassolas, J. Degallaix, L. Pinard, C. Michel, V. Sordini, G. Cagnoli. Appl. Opt., 60, 4068(2021).

    [14] K. M. A. Salam, H. Fukuda, S. Nomura. Semicond. Process., 6, 531(2003).

    [15] M. Abernathy, A. Amato, A. Ananyeva, S. Angelova, B. Baloukas, R. Bassiri, G. Billingsley, R. Birney, G. Cagnoli, M. Canepa, M. Coulon, J. Degallaix, A. Di Michele, M. A. Fazio, M. M. Fejer, D. Forest, C. Gier, M. Granata, A. M. Gretarsson, E. M. Gretarsson, E. Gustafson, E. J. Hough, M. Irving, É. Lalande, C. Lévesque, A. W. Lussier, A. Markosyan, I. W. Martin, L. Martinu, B. Maynard, C. S. Menoni, C. Michel, P. G. Murray, C. Osthelder, S. Penn, L. Pinard, K. Prasai, S. Reid, R. Robie, S. Rowan, B. Sassolas, F. Schiettekatte, R. Shink, S. Tait, J. Teillon, G. Vajente, M. Ward, L. Yang. Class. Quantum Gravity, 38, 195021(2021).

    [16] J. Wen, M. Zhu, Y. Chai, T. Liu, J. Shi, W. Du, J. Shao. J. Alloy. Compd., 957, 170352(2023).

    [17] G. M. Harry, M. R. Abernathy, A. E. Becerra-Toledo, H. Armandula, E. Black, K. Dooley, M. Eichenfield, C. Nwabugwu, A. Villar, D. R. M. Crooks, G. Cagnoli, J. Hough, C. R. How, I. MacLaren, P. Murray, S. Reid, S. Rowan, P. H. Sneddon, M. M. Fejer, R. Route, S. D. Penn, P. Ganau, J. M. Mackowski, C. Michel, L. Pirand, A. Remillieux. Class. Quantum Gravity, 24, 405(2007).

    [18] M. Jacoby. Science, 3, 92(2017).

    [19] M. Molina-Ruiz, K. Shukla, A. Ananyeva, G. Vajente, M. R. Abernathy, T. H. Metcalf, X. Liu, A. Markosyan, R. Bassiri, M. M. Fejer, M. Fazio, L. Yang, C. S. Menoni, F. Hellman. Phys. Rev. Mater., 8, 035603(2024).

    [20] R. Henking, D. Ristau, F. V. Alvensleben, H. Welling. Proc. SPIE, 2428, 281(1995).

    [21] J. Zhang, F. Wang, S. Fang, H. Jiao, X. Cheng, Z. Wang. Opt. Precis. Eng., 30, 2655(2022).

    [22] S. Deng, G. Li, F. Wang, Q. Lv, L. Sun, Y. Jin. Coatings, 8, 72(2018).

    [23] L. Kochanneck, J. Rönn, A. Tewes, G. A. Hoffmann, S. Virtanen, P. Maydannik, S. Sneck, A. Wienke, D. Ristau. Appl. Opt., 62, 3112(2023).

    [24] I. A. Alhomoudi, G. Newaz. Thin Solid Films, 517, 4382(2009).

    [25] M. Bergler, K. Cvecek, F. Werr, M. Brehl, D. De Ligny, M. Schmidt. Int. J. Extreme Manuf., 2, 035001(2020).

    [26] S. Boukrouh, R. Bensaha, S. Bourgeois, E. Finot, M. C. Marco de Lucas. Thin Solid Films, 516, 6353(2018).

    [27] C. Joseph, P. Bourson, M. D. Fontana. J. Raman Spectrosc., 43, 1146(2012).

    [28] H. Chen, G. Feng, W. Fan, J. Han, Y. Li, Q. Lai. Opt. Mater. Express, 9, 3132(2019).

    [29] J. F. Meng, B. K. Rai, R. S. Katiyar, A. S. Bhalla. J. Phys. Chem. Solids, 58, 1503(1997).

    [30] S. Roorda, W. C. Sinke, J. M. Poate, D. C. Jacobson, P. Fuoss. Phys. Rev. B: Condensed Matter, 44, 3702(1991).

    [31] R. Simpson, R. G. White, J. F. Watts, M. A. Baker. Appl. Surf. Sci., 405, 79(2017).

    [32] D. K. Aswal, K. P. Muthe, S. Tawde, S. Chodhury, J. V. Yakhmi. J. Cryst. Growth., 236, 661(2002).

    [33] A. N. Banerjee, N. Hamnabard, S. W. Joo. Ceram. Int., 42, 12010(2016).

    [34] E. Ramos-Moore, P. Ferrari, D. E. Diaz-Droguett, D. Lederman, J. T. Evans. J. Appl. Phys., 111, 014108(2012).

    [35] V. Pazhanivelu, A. Paul Blessington Selvadurai, R. Murugaraj, I. Panneer Muthuselvam, F. C. Chou, J. Mater. Sci.-Mater. Electron., 27, 8580(2016).

    [36] E. S. Andres, M. Toledano-Luque, A. D. Prado, M. A. Navacerrada, I. Martil, G. Gonzalez-Diaz, W. Bohne, J. Rohrich, E. Strub. J. Vac. Sci. Technol. A, 23, 1523(2005).

    [37] T. Damart, E. Coillet, A. Tanguy, D. Rodney. J. Appl. Phys., 119, 175106(2016).

    [38] R. Bassiri, F. Liou, M. R. Abernathy, A. C. Lin, N. Kim, A. Mehta, B. Shyam, R. L. Byer, E. K. Gustafson, M. Hart, I. MacLaren, I. W. Martin, R. K. Route, S. Rowan, J. F. Stebbins, M. M. Fejer. APL Mater., 3, 158(2015).

    [39] J. H. Hur. Comput. Mater. Sci., 164, 17(2019).

    [40] Z. Zhou, M. Li, L. Guo. J. Phys. Chem. Solids, 71, 1707(2010).

    [41] F. Xia, Z. Shao, Y. He, R. Wang, X. Wu, T. Jiang, S. Duhm, J. Zhao, S. T. Lee, J. Jie. ACS Nano, 10, 10283(2016).

    [42] L. Ashraf, S. Waseem, M. T. Qureshi, G. Yunus, L. Aamir, F. Ullah, M. Saleem. Opt. Mater., 148, 114901(2024).

    [43] T. Galy, M. Marszewski, S. King, Y. Feng, Y. Yan, S. H. Tolbert. Microporous Mesoporous Mater., 291, 109677(2020).

    [44] C. Mühlig, S. Kufert, S. Bublitz, U. Speck. Appl. Opt., 50, 449(2011).

    [45] V. Jain, M. C. Biesinger, M. R. Linford. Appl. Surf. Sci., 447, 548(2018).

    [46] G. Kresse, J. Furthmüller. Comput. Mater. Sci., 6, 15(1996).

    [47] J. P. Perdew, K. Burke, M. Ernzerhof. Phys. Rev. Lett., 77, 3865(1998).

    [48] S. H. Lee, J. Kim, S. J. Kim, S. Kim, G. S. Park. Phys. Rev. Lett., 110, 235502(2013).

    [49] C. S. Pedersen, J. H. Chang, Y. Li, N. Pryds, J. M. Garcia Lastra. APL Mater., 8, 071108(2020).

    [50] R. Bassiri, K. B. Borisenko, D. J. H. Cockayne, J. Hough, I. MacLaren, S. Rowan. Appl. Phys. Lett., 98, 031904(2011).

    [51] J. P. Perdew, A. Ruzsinszky, G. I. Csonka, O. A. Vydrov, G. E. Scuseria, L. A. Constantin, X. Zhou, K. Burke. Phys. Rev. Lett., 100, 136406(2008).

    [52] J. Heyd, G. E. Scuseria, M. Ernzerhof. J. Chem. Phys., 118, 8207(2003).

    [53] A. Lawal, A. Shaari, R. Ahmed, N. Jarkoni. Results Phys., 7, 2302(2017).

    [54] M. Arbi, N. Benramdane, Z. Kebbab, R. Miloua, F. Chiker, R. Khenata. Mater. Sci. Semicond. Process., 15, 301(2012).

    Tools

    Get Citation

    Copy Citation Text

    Ruichen Song, Jiaqi Hu, Yunqi Peng, Ying’ao Xiao, Yuxiang Wang, Kongxu Zhu, Yuheng Jiang, Xusheng Xia, Zhilin Xia. Fabrication of ultra-low-absorption thin films via ion beam-assisted electron-beam evaporation[J]. High Power Laser Science and Engineering, 2025, 13(3): 03000e38

    Download Citation

    EndNote(RIS)BibTexPlain Text
    Save article for my favorites
    Paper Information

    Category: Research Articles

    Received: Jan. 19, 2025

    Accepted: Mar. 17, 2025

    Published Online: Jun. 19, 2025

    The Author Email: Xusheng Xia (xsxia@whut.edu.cn), Zhilin Xia (xiazhilin@whut.edu.cn)

    DOI:10.1017/hpl.2025.27

    CSTR:32185.14.hpl.2025.27

    Topics