[1] [1] D. Basting and G. Marowsky, Excimer laser technology (Springer, Berlin, 2005).

[2] [2] K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).

[3] [3] V. Liberman, M. Rothschild, J. H. C. Sedlacek, R. S. Uttaro, A. Grenville, A. K. Bates, and C. K. Van Peski, Opt. Lett. 24, 58 (1999).

[4] [4] A. Duparre, R. Thielsch, N. Kaiser, S. Jakobs, K. R. Mann, and E. Eva, Proc. SPIE 3334, 1048 (1998).

[5] [5] V. Liberman, M. Rothschild, J. H. C. Sedlacek, R. S. Uttaro, A. K. Bates, and C. K. Van Peski, Proc. SPIE 3578, 2 (1998).

[6] [6] K. R. Mann and E. Eva, Proc. SPIE 3334, 1055 (1998).

[7] [7] K. R. Mann and H. Gerhardt, Proc. SPIE 1503, 176 (1991).

[8] [8] X. Liu, D. Li, Y. Zhao, X. Li, X. Ling, and J. Shao, Chin. Opt. Lett. 8, 41 (2010).

[9] [9] J. Hue, J. Dijon, and P. Lyan, Proc. SPIE 2714, 102(1996).

[10] [10] L. Sheehan, S. Schwartz, C. Battersby, R. Dickson, R. Jennings, J. Kimmons, M. Kozlowski, S. Maricle, R. Mouser, M. Runkel, and C. Weinzapfel, Proc. SPIE 3578, 302 (1998).

[11] [11] M. W. Hooker, M. E. Thomas, S. A. Wise, and N. D. Tappan, NASA Technical Memorandum 4639 (1995).

[12] [12] R. Thielsch, J. Heber, A. Duparre, N. Kaiser, K. R. Mann, and E. Eva, Proc. SPIE 3578, 97 (1998).

[13] [13] J. Dijon, E. Quesnel, C. Pelle, and R. Thielsch, Proc. SPIE 3578, 54 (1998).

[14] [14] A. Burkert, Ch. Muehlig, W. Triebel, D. Keutel, U. Natural, L. Parthier, S. Gliech, S. Schroeder, and A. Duparre, Proc. SPIE 5878, 58780E (2005).

[15] [15] H. Johansen and G. Kastner, J. Mater. Sci. 33, 3839 (1998).

[16] [16] M. Bauer, M. Bischoff, S. Jukresch, T. H¨ulsenbusch, A. Matern, A. G¨otler, R. W. Stark, A. Chuvilin, and U. Kaiser, Opt. Express 17, 8253 (2009).