Chinese Optics Letters, Volume. 8, Issue s1, 163(2010)
Development of non-periodic multilayer in the EUV, soft X-ray, and X-ray ranges
[1] [1] J.-Ph. Champeaux, Ph. Troussel, B. Villier, V. Vidal, T. Khachroum, B. Vidal, and M. Krumrey, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. A 581, 687 (2007).
[2] [2] K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K.-W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, G. Lodha, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).
[3] [3] E. Ziegler, Proc. SPIE 2253, 248 (1994).
[4] [4] V. L. Kantsyrev, R. Bruch, R. Phaneuf, and N. G. Publicover, J. X-Ray Sci. Technol. 7, 139 (1997).
[5] [5] I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. A 460, 424 (2001).
[6] [6] X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, and L. Chen, Opt. Commun. 265, 197 (2006).
[7] [7] P. D. Binda and F. E. Zocchi, Proc. SPIE 5536, 97 (2004).
[8] [8] A. V. Tikhonravor, M. K. Trubetskov, V. V. Protopopor, and A. V. Voronov, Proc. SPIE 3738, 248 (1999).
[9] [9] Z.Wang, F.Wang, Z. Zhang, H.Wang, W.Wu, S. Zhang, Y. Xu, Z. Gu, X. Cheng, C. Li, Y. Wu, B. Wang, S. Qin,
[10] [10] and L. Chen, Opt. Precision Eng. (in Chinese) 13, 512 (2005).
[11] [11] M. Yanagihara, T. Maehara, H. Nomura, M. Yamamoto, T. Namioka, and H. Kimura, Rev. Sci. Instrum. 63, 1516 (1992).
[12] [12] J. B. Kortright, M. Rice, and K. D. Franck, Rev. Sci. Instrum. 66, 1567 (1995).
[13] [13] J. Zhu, Z. Wang, H. Wang, Z. Zhang, F. Wang, S. Qin. L. Chen, M. Cui, Y. Zhao, L. Sun, H. Zhou, and H. Huo. Opt. Precision Eng. (in Chinese) 15, 1886 (2007).
[14] [14] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2006).
[15] [15] Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Schafers, Opt. Express 14, 2533 (2006).
[16] [16] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald. Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).
[17] [17] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald. Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).
[18] [18] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, F. Wang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp. M. Cui, L. Sun, and M. MacDonald. Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).
Get Citation
Copy Citation Text
Zhanshan Wang, Jingtao Zhu, Baozhong Mu, Zhong Zhang, Fengli Wang, Xinbin Cheng, Fangfang Wang, Lingyan Chen, "Development of non-periodic multilayer in the EUV, soft X-ray, and X-ray ranges," Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010)
Received: Nov. 25, 2009
Accepted: --
Published Online: May. 14, 2010
The Author Email: