[1] [1] 董文杰， 张钧， 孙宇菲， 等. CrN系硬质膜的发展与应用［J］. 材料保护， 2019， 52（12）： 129-134.DONGW J， ZHANGJ， SUNY F， et al. Development and application of CrN-based hard films［J］. Materials Protection， 2019， 52（12）： 129-134.（in Chinese）

[2] FAN Q X, ZHANG J J, WU Z H et al. Influence of Al content on the microstructure and properties of the CrAlN coatings deposited by arc ion plating[J]. Acta Metallurgica Sinica （English Letters）, 30, 1221-1230(2017).

[3] VYAS A, ZHOU Z, SHEN Y. Effect of aluminum contents on sputter deposited CrAlN thin films[J]. IOP Conference Series Materials Science and Engineering, 307(2018).

[4] [4] 王建伟， 薛玉君， 蔡海潮， 等. 基体偏压对磁控溅射制备CrAlN薄膜摩擦学性能的影响［J］. 工具技术， 2019， 53（6）51-54. doi: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.06.011WANGJ W， XUEY J， CAIH C， et al. Effect of substrate bias on friction and wear properties of magnetron sputtered CrAlN films［J］. Tool Engineering， 2019， 53（6）51-54（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.06.011

[5] [5] 姜虎森， 柳琪， 王进， 等. 基材硬度和涂层厚度对AlCrN多元复合纳米硬质涂层硬度的影响［J］. 铸造技术， 2017， 38（10）： 2401-2404.JIANGH S， LIUQ， WANGJ， et al. Effect of substrate hardness and coating thickness on the hardness of AlCrN［J］. Foundry Technology， 2017， 38（10）： 2401-2404.（in Chinese）

[6] [6] 杨光杰. 阴极弧蒸发沉积Al-Cr-O硬质涂层及其结构和性能研究［D］. 广州：广东工业大学，2021.YANGG J. Study on Structure and Properties of Al-Cr-O Hard Coatings Deposited by Cathodic Arc Evaporation［D］. Guangzhou： Guangdong University of Technology， 2021. （in Chinese）

[7] LIU L Y, LIN S S, WANG W et al. Effect of electromagnetic voltage on wear resistance of CrAlN coatings[J]. Surface Engineering, 37, 695-701(2021).

[8] WANG T C, SHAO T, ZHAO Q et al. Effect of magnetic field on the thickness uniformity of thin film deposited on inner surface[J]. Surface and Coatings Technology, 429, 127974(2021).

[9] [9] 孙国威， 陈泽昊， 李云珂， 等. 靶基距对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响［J］. 真空， 2018， 55（2）： 19-22. doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.02.05SUNG W， CHENZ H， LIY K， et al. Effects of target-substrate distance on structure and properties of TiCN thin films by hybrid ion plating［J］. Vacuum， 2018， 55（2）： 19-22.（in Chinese）. doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.02.05

[10] CHEN W, LIN Y, ZHENG J et al. Preparation and characterization of CrAlN/TiAlSiN nano-multilayers by cathodic vacuum arc[J]. Surface and Coatings Technology, 265, 205-211(2015).

[11] MARTIN PJ, BENDAVID A. Review of the filtered vacuum arc process and materials deposition[J]. Thin Solid Films, 394, 1-14(2001).

[12] BOXMAN R, BEILIS I, GIDALEVICH E et al. Magnetic control， in vacuum arc deposition： a review[J]. IEEE transactions on plasma science, 33, 1618-1625(2005).

[13] CHEN SN, ZHANG YF, ZHAO YM et al. Preparation and regulation of AlCrNiTiSi high entropy alloy coating by a multi-arc magnetic filter cathode vacuum arc system[J]. Surfaces and Interfaces, 26, 101400(2021).

[14] MA Y, YANG J, TIAN X et al. Enhanced Discharge and Surface Properties of TiSiCN Coatings by Pulse-Enhanced Vacuum Arc Evaporation[C](2019).

[15] SAMUELSSON M, LUNDIN D, JENSEN J et al. On the film density using high power impulse magnetron sputtering[J]. Surface and Coatings Technology, 205, 591-596(2010).

[16] [16] 郑锦华， 刘青云， 李志雄. 负偏压对含氢类金刚石薄膜性能的影响［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（4）： 411-420. doi: 10.37188/OPE.20223004.0411ZHENGJ H， LIUQ Y， LIZ X. Effect of negative bias voltage on properties of hydrogenated diamond-like carbon films［J］. Opt. Precision Eng.， 2022， 30（4）： 411-420.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223004.0411

[17] [17] 郑锦华， 李聪慧， 张冲， 等. 不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性［J］. 光学 精密工程， 2013， 21（6）： 1545-1552. doi: 10.3788/ope.20132106.1545ZHENGJ H， LIC H， ZHANGC， et al. Friction properties of DLC film on different metal substrates［J］. Opt. Precision Eng.， 2013， 21（6）： 1545-1552. （in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20132106.1545

[18] VUCHKOV T, EVARISTO M, YAQUB TB et al. The effect of substrate location on the composition， microstructure and mechano-tribological properties of W-S-C coatings deposited by magnetron sputtering[J]. Surface and Coatings Technology, 386, 125481(2020).

[19] [19] 郑锦华， 晁云峰， 张冲， 等. 射频磁控溅射法沉积SiC-Al薄膜的摩擦特性［J］. 真空科学与技术学报， 2014， 34（11）： 1178-1183. doi: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.09ZHENGJ H， CHAOY F， ZHANGC， et al. Tribological properties of RF magnetron sputtered SiC-Al coatings［J］. Chinese Journal of Vacuum Science and Technology， 2014， 34（11）： 1178-1183. （in Chinese）. doi: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.09

[20] [20] 郑锦华，张冲，晁云峰，等. 类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性［J］. 光学 精密工程， 2014， 22（4）： 934-941. doi: 10.3788/ope.20142204.0934ZHENGJ H， ZHANGCH， CHAOY F， et al. Deposition and friction properties of DLC films with micro-crater-like structures［J］. Opt. Precision Eng.， 2014， 22（4）： 934-941. （in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20142204.0934

[21] [21] 王欣， 范其香， 王铁钢， 等. CrAlN纳米复合涂层的组织结构及切削性能研究［J］. 材料保护， 2021， 54（4）： 63-68.WANGX， FANQ X， WANGT G， et al. The microstructure and cutting property of CrAlN nanocomposite coating［J］. Materials Protection， 2021， 54（4）： 63-68. （in Chinese）

[22] [22] 汪陇亮， 孙润军， 单磊， 等. CrAlN涂层海水环境腐蚀磨损行为研究［J］. 摩擦学学报， 2017， 37（5）： 639-646.WANGL L， SUNR J， SHANL， et al. Tribocorrosion behaviors of CrAlN coating in seawater［J］. Tribology， 2017， 37（5）： 639-646. （in Chinese）

[23] ZHANG X, TIAN X, GONG C et al. Effect of plasma nitriding ion current density on tribological properties of composite CrAlN coatings[J]. Ceramics International, 48, 3954-3962(2022).