Fig. 1. Monolithic polarimetric FPA：（a） the schematic of a monolithic polarimetric FPA； （b） the arrangement of superpixels； （c） the established model to optimize structural parameters

Fig. 2. ER variation tendencies with respect to different structural parameters：（a） thickness； （b） period； （c） duty cycle

Fig. 3. MPA layout：（a） the previously reported MPA layout； （b） the modified one with expanded opaque regions

Fig. 4. MW 640 × 512 （25 μm） HgCdTe FPA：（a） monolithic integration process； （b） Ti/Au depositions； （c） laser direct writing； （d） iron-beam milling

Fig. 5. Surface morphologies of Au layers fabricated by：（a） e-beam evaporation； （b） magnetic sputtering； （c） ion beam sputtering

Fig. 6. Patterned line gratings with optimal process parameters of laser direct writing

Fig. 7. Cross-sectional profiles of etched line gratings before （a） and after （b） process condition modifications

Fig. 8. SEM photographs of the monolithically fabricated MPA

Fig. 9. Test setup of the polarimetric FPA

Fig. 10. Blind pixel distribution diagrams of （a） A-type and （b） B-type polarimetric FPAs

Fig. 11. Blind pixel distribution diagram of the polarimetric FPA after the preliminary process optimization

Fig. 12. Polarization response curves of pixels with （a-d） 0°，45°，90°，and 135°orientations for the A-type polarimetric FPA

Fig. 13. Polarization response curves of pixels with （a-d） 0°，45°，90°，and 135°orientations for the B-type polarimetric FPA

Fig. 14. Polarization response curves of pixels with （a-d） 0°，45°，90°，and 135° orientations for the formally encapsulated B-type polarimetric FPA

Fig. 15. Specialized MPA layout to determine crosstalk rates from adjacent pixels of （a） 0°- and （b） 45°- oriented pixels

Fig. 16. Measured data used to determine the crosstalk rates from adjacent pixels of （a） 0°/90°- and （b） 45°/135°- oriented pixels for the A-type polarimetric FPA

Fig. 17. Measured data used to determine the crosstalk rates from adjacent pixels of （a） 0°/90°- and （b） 45°/135°-oriented pixels for the B-type polarimetric FPA

Fig. 18. Re-extracted ERs of （a） 0°- and （b） 45°-oriented pixels for the A-type polarimetric FPA