[1] IEEE. International Roadmap for Devices and Systems. IEEE. https：//irds.ieee.org/editions/2020

[2] [2] 吴剑威， 袁勇， 崔继文， 等. 双工件台宏微交接系统设计及实验［J］. 光学 精密工程， 2015， 23（6）： 1673-1680. doi: 10.3788/ope.20152306.1673WUJ W， YUANY， CUIJ W， et al. Design and test of macro-micro coupling system for dual-stage lithography［J］. Opt. Precision Eng.， 2015， 23（6）： 1673-1680.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20152306.1673

[3] [3] 王磊杰， 郭子文， 叶伟楠， 等. 超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（5）： 499-509. doi: 10.37188/OPE.20223005.0499WANGL J， GUOZ W， YEW N， et al. Ultra-precision spatial-separated heterodyne Littrow grid encoder displacement measurement system［J］. Opt. Precision Eng.， 2022， 30（5）： 499-509.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223005.0499

[4] [4] 李龙辉， 张芷齐， 郭振， 等. 柔性扫描平台最优阶多项式速度曲线控制［J］. 光学 精密工程， 2021， 29（10）： 2400-2411. doi: 10.37188/OPE.2021.0099LIL H， ZHANGZH Q， GUOZH， et al. Optimal order polynomial motion profile for high-precision flexible scanning platform［J］. Opt. Precision Eng.， 2021， 29（10）： 2400-2411.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.2021.0099

[5] L Y DAI, X LI, Y ZHU et al. Auto-tuning of model-based feedforward controller by feedback control signal in ultraprecision motion systems. Mechanical Systems and Signal Processing, 142, 106764(2020).

[6] M F HEERTJES, H BUTLER, N J DIRKX et al. Control of wafer scanners： methods and developments, 3686-3703(2020).

[7] H BUTLER. Position control in lithographic equipment： an enabler for current-day chip manufacturing. IEEE Control Systems, 13, 28-47(2011).

[8] H BUTLER. Adaptive feedforward for a wafer stage in a lithographic tool. IEEE Transactions on Control Systems Technology, 21, 875-881(2013).

[9] G CARBONE, F GOMEZ-BRAVO. Motion and Operation Planning of Robotic Systems： Background and Practical Approaches：29. Softcover reprint of the original 1st ed. 2015 edition. Springer(2016).

[10] A PIAZZI, A VISIOLI. An interval algorithm for minimum-jerk trajectory planning of robot manipulators, 1924-1927(2002).

[11] A PIAZZI, A VISIOLI. Global minimum-jerk trajectory planning of robot manipulators. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 47, 140-149(2000).

[12] [12] 穆海华， 周云飞， 严思杰， 等. 超精密点对点运动三阶轨迹规划精度控制［J］. 机械工程学报， 2008， 44（1）： 126-132. doi: 10.3321/j.issn:0577-6686.2008.01.022MUH H， ZHOUY F， YANS J， et al. Precision control of third-order profile planning for high accuracy point-to-point motion system［J］. Chinese Journal of Mechanical Engineering， 2008， 44（1）： 126-132.（in Chinese）. doi: 10.3321/j.issn:0577-6686.2008.01.022

[13] [13] 蒋毅， 朱煜， 杨开明， 等. 超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析［J］. 中国电机工程学报， 2014， 34（30）： 5451-5457. doi: 10.13334/j.0258-8013.pcsee.2014.30.024JIANGY， ZHUY， YANGK M， et al. Coupled dynamic modeling and analysis of ultra-precision 6-DOF fine stage［J］. Proceedings of the CSEE， 2014， 34（30）： 5451-5457.（in Chinese）. doi: 10.13334/j.0258-8013.pcsee.2014.30.024

[14] W J RUGH, J S SHAMMA. Survey research on gain scheduling. Automatica （Journal of IFAC）, 36, 1401-1425(2000).

[15] D D ROOVER. Motion Control of a Wafer Stage ： a Design Approach for Speeding up IC Production(1997).

[16] R M SCHMIDT, G SCHITTER, J V EIJK. The design of High Performance Mechatronics, 269-278(2014).

[17] [17] 刘波， 王凌， 金以慧. 差分进化算法研究进展［J］. 控制与决策， 2007， 22（7）： 721-729. doi: 10.3321/j.issn:1001-0920.2007.07.001LIUB， WANGL， JINY H. Advances in differential evolution［J］. Control and Decision， 2007， 22（7）： 721-729.（in Chinese）. doi: 10.3321/j.issn:1001-0920.2007.07.001

[18] [18] 赵志伟， 杨景明， 呼子宇， 等. 基于角度邻域的多目标差分进化算法［J］. 控制理论与应用， 2017， 34（1）： 22-32.ZHAOZH W， YANGJ M， HUZ Y， et al. Multiobjective differential evolution algorithm based on angle neighbourhood［J］. Control Theory & Applications， 2017， 34（1）： 22-32.（in Chinese）

[19] Y M AL-RAWASHDEH, MAL JANAIDEH, M HEERTJES. On step-and-scan trajectories used in wafer scanners in semiconductor manufacturing, 7580-7586(2021).

[20] [20] 张洪财， 胡泽春， 宋永华， 等. 考虑时空分布的电动汽车充电负荷预测方法［J］. 电力系统自动化， 2014， 38（1）： 13-20. doi: 10.7500/AEPS20130613009ZHANGH C， HUZ CH， SONGY H， et al. A prediction method for electric vehicle charging load considering spatial and temporal distribution［J］. Automation of Electric Power Systems， 2014， 38（1）： 13-20.（in Chinese）. doi: 10.7500/AEPS20130613009