High Power Laser Science and Engineering, Volume. 12, Issue 1, 010000e1(2024)
Specifications and control of spatial frequency errors of components in two-beam laser static holographic exposure for pulse compression grating fabrication
[1] A. B. Zylstra, O. A. Hurricane, D. A. Callahan, A. L. Kritcher, J. E. Ralph, H. F. Robey, J. S. Ross, C. V. Young, K. L. Baker, D. T. Casey, T. Döppner, L. Divol, M. Hohenberger, S. Le Pape, A. Pak, P. K. Patel, R. Tommasini, S. J. Ali, P. A. Amendt, L. J. Atherton, B. Bachmann, D. Bailey, L. R. Benedetti, L. Berzak Hopkins, R. Betti, S. D. Bhandarkar, J. Biener, R. M. Bionta, N. W. Birge, E. J. Bond, D. K. Bradley, T. Braun, T. M. Briggs, M. W. Bruhn, P. M. Celliers, B. Chang, T. Chapman, H. Chen, C. Choate, A. R. Christopherson, D. S. Clark, J. W. Crippen, E. L. Dewald, T. R. Dittrich, M. J. Edwards, W. A. Farmer, J. E. Field, D. Fittinghoff, J. Frenje, J. Gaffney, M. Gatu Johnson, S. H. Glenzer, G. P. Grim, S. Haan, K. D. Hahn, G. N. Hall, B. A. Hammel, J. Harte, E. Hartouni, J. E. Heebner, V. J. Hernandez, H. Herrmann, M. C. Herrmann, D. E. Hinkel, D. D. Ho, J. P. Holder, W. W. Hsing, H. Huang, K. D. Humbird, N. Izumi, L. C. Jarrott, J. Jeet, O. Jones, G. D. Kerbel, S. M. Kerr, S. F. Khan, J. Kilkenny, Y. Kim, H. Geppert Kleinrath, V. Geppert Kleinrath, C. Kong, J. M. Koning, J. J. Kroll, M. K. G. Kruse, B. Kustowski, O. L. Landen, S. Langer, D. Larson, N. C. Lemos, J. D. Lindl, T. Ma, M. J. MacDonald, B. J. MacGowan, A. J. Mackinnon, S. A. MacLaren, A. G. MacPhee, M. M. Marinak, D. A. Mariscal, E. V. Marley, L. Masse, K. Meaney, N. B. Meezan, P. A. Michel, M. Millot, J. L. Milovich, J. D. Moody, A. S. Moore, J. W. Morton, T. Murphy, K. Newman, J. M. G. Di Nicola, A. Nikroo, R. Nora, M. V. Patel, L. J. Pelz, J. L. Peterson, Y. Ping, B. B. Pollock, M. Ratledge, N. G. Rice, H. Rinderknecht, M. Rosen, M. S. Rubery, J. D. Salmonson, J. Sater, S. Schiaffino, D. J. Schlossberg, M. B. Schneider, C. R. Schroeder, H. A. Scott, S. M. Sepke, K. Sequoia, M. W. Sherlock, S. Shin, V. A. Smalyuk, B. K. Spears, P. T. Springer, M. Stadermann, S. Stoupin, D. J. Strozzi, L. J. Suter, C. A. Thomas, R. P. J. Town, E. R. Tubman, C. Trosseille, P. L. Volegov, C. R. Weber, K. Widmann, C. Wild, C. H. Wilde, B. M. Van Wonterghem, D. T. Woods, B. N. Woodworth, M. Yamaguchi, S. T. Yang, G. B. Zimmerman. Nature, 601(2022).
[2] W. Wang, K. Feng, L. Ke, C. Yu, Y. Xu, R. Qi, Y. Chen, Z. Qin, Z. Zhang, M. Fang, J. Liu, K. Jiang, H. Wang, C. Wang, X. Yang, F. Wu, Y. Leng, J. Liu, R. Li, Z. Xu. Nature, 595, 516(2021).
[3] T. M. Baer, N. P. Bigelow. Nature, 463, 26(2010).
[4] R. Y. Chen, Y. Z. Wang, J. D. Shao, Y. Cao, Y. H. Zhang, Z. H. Wang, Y. C. A. Shao, Y. X. Jin, K. Yi, J. B. Hu, Y. Xu, Y. X. Leng, R. X. Li. IEEE Photonics Technol. Lett., 34, 93(2022).
[5] W. F. Zhang, W. J. Kong, G. M. Wang, F. Xing, F. Zhang, H. N. Zhang, S. G. Fu. Opt. Eng., 60, 020902(2021).
[6] F. Kong, H. Huang, L. Wang, J. Shao, Y. Jin, Z. Xia, J. Chen, L. Li. Opt. Laser Technol., 97, 339(2017).
[7] C. N. Danson, C. Haefner, J. Bromage, T. Butcher, J. C. F. Chanteloup, E. A. Chowdhury, A. Galvanauskas, L. A. Gizzi, J. Hein, D. I. Hillier, N. W. Hopps, Y. Kato, E. A. Khazanov, R. Kodama, G. Korn, R. X. Li, Y. T. Li, J. Limpert, J. G. Ma, C. H. Nam, D. Neely, D. Papadopoulos, R. R. Penman, L. J. Qian, J. J. Rocca, A. A. Shaykin, C. W. Siders, C. Spindloe, S. Szatmari, R. Trines, J. Q. Zhu, P. Zhu, J. D. Zuegel. High Power Laser Sci. Eng, 7, e54(2019).
[8] W. Li, Z. Gan, L. Yu, C. Wang, Y. Liu, Z. Guo, L. Xu, M. Xu, Y. Hang, Y. Xu, J. Wang, P. Huang, H. Cao, B. Yao, X. Zhang, L. Chen, Y. Tang, S. Li, X. Liu, S. Li, M. He, D. Yin, X. Liang, Y. Leng, R. Li, Z. Xu. Opt. Lett., 43, 5681(2018).
[9] Z. Gan, L. Yu, S. Li, C. Wang, X. Liang, Y. Liu, W. Li, Z. Guo, Z. Fan, X. Yuan, L. Xu, Z. Liu, Y. Xu, J. Lu, H. Lu, D. Yin, Y. Leng, R. Li, Z. Xu. Opt. Express, 25, 5169(2017).
[10] Y. Zhou, Z. Qin, X. Zhou, G. Xie. High Power Laser Sci. Eng, 10, e41(2022).
[11] F. Wu, J. Hu, X. Liu, Z. Zhang, P. Bai, X. Wang, Y. Zhao, X. Yang, Y. Xu, C. Wang. High Power Laser Sci. Eng, 10, e38(2022).
[12] N. Bonod, J. Neauport. Adv. Opt. Photonics, 8(2016).
[13] G. S. Pati, R. K. Heilmann, P. T. Konkola, C. Joo, C. G. Chen, E. Murphy, M. L. Schattenburg. J. Vacuum Sci. Technol. B, 20, 2617(2002).
[14] S. Lu, R. Cheng, K. Yang, Y. Zhu, L. Wang, M. Zhang. Opt. Eng., 57, 104107(2018).
[15] L. Zeng, L. Li. Opt. Lett., 31, 152(2006).
[16] Y. Lu, X. Qi, X. Mi, S. Jiang, H. Yu, X. Li, L. Yin. Acta Opt. Sin., 36, 0505001(2016).
[17] N. K. Pavlycheva. J. Opt. Technol., 89, 142(2022).
[18] H. T. Nguyen, J. A. Britten, T. C. Carlson, J. D. Nissen, L. J. Summers, C. R. Hoaglan, M. D. Aasen, J. E. Peterson, I. Jovanovic. Proc. SPIE, 5991, 59911M(2006).
[19] Y. Zhao. , “Ultra-high precision scanning beam interference lithography and its application : spatial frequency multiplication,” PhD. Thesis (Massachusetts Institute of Technology, ).(2008).
[20] B. G. Turukhano, V. P. Gorelik, S. N. Kovalenko, N. Turukhano. Opt. Laser Technol., 28, 263(1996).
[21] J. Qiao, A. Kalb, M. J. Guardalben, G. King, D. Canning, J. H. Kelly. Opt. Express, 15, 9562(2007).
[22] P. A. Baisden, L. J. Atherton, R. A. Hawley, T. A. Land, J. A. Menapace, P. E. Miller, M. J. Runkel, M. L. Spaeth, C. J. Stolz, T. I. Suratwala, P. J. Wegner, L. L. Wong. Fusion Sci. Technol, 69, 295(2016).
[23] H. Wang, S. Moriconi, K. Sawhney. Light Sci. Appl, 10, 195(2021).
[24] S. Wan, C. Wei, C. Hu, H. Gu, J. Shao. Opt. Express, 29, 23582(2021).
[25] W.-L. Zhu, A. Beaucamp. Int. J. Mach. Tools Manufact., 158, 103634(2020).
[26] Z. Zhang, J. Yan, T. Kuriyagawa. Int. J. Extreme Manufact., 1, 022001(2019).
[27] M. Born, E. Wolf. Principles of Optics: Electromagnetic Theory of Propagation, Interference and Diffraction of Light(1964).
[28] R. D. Boyd, J. A. Britten, D. E. Decker, B. W. Shore, L. Li. Appl. Opt., 34, 1697(1995).
[29] K. Iizuka, I. Keigo. Engineering Optics, 35(2008).
[30] P. Diniz, S. Netto, E. D. Silva. Digital Signal Processing: System Analysis and Design(2010).
[31] F. Koch, D. Lehr, T. Glaser. Proc. SPIE, 10448, 104481L(2017).
[32] M. L. Spaeth, K. R. Manes, C. C. Widmayer, W. H. Williams, P. K. Whitman, M. A. Henesian, I. F. Stowers, J. Honig. Opt. Eng., 43, 2854(2004).
[33] S. Wan, C. Wei, C. Hu, G. Situ, J. Shao. Int. J. Mach. Tools Manufact., 161, 103673(2021).
[34] H. J. Li, X. Y. Li, S. L. Wan, C. Y. Wei, J. D. Shao. Appl. Opt., 60, 7732(2021).
[35] X. Li, C. Wei, S. Zhang, W. Xu, J. Shao. Appl. Opt., 58, 4406(2019).
Get Citation
Copy Citation Text
Chen Hu, Songlin Wan, Guochang Jiang, Haojin Gu, Yibin Zhang, Yunxia Jin, Shijie Liu, Chengqiang Zhao, Hongchao Cao, Chaoyang Wei, Jianda Shao. Specifications and control of spatial frequency errors of components in two-beam laser static holographic exposure for pulse compression grating fabrication[J]. High Power Laser Science and Engineering, 2024, 12(1): 010000e1
Category: Research Articles
Received: Jun. 11, 2023
Accepted: Sep. 22, 2023
Posted: Sep. 25, 2023
Published Online: Jan. 8, 2024
The Author Email: Songlin Wan (songlin_wan@siom.ac.cn), Chaoyang Wei (siomwei@siom.ac.cn), Jianda Shao (jdshao@siom.ac.cn)