[1] [1] 王玥颖， 刘旭， 郝翔. 三维表面形貌测量中的共聚焦显微成像技术研究进展［J］. 激光与光电子学进展， 2023， 60（8）： 3788/LOP230533. doi: 10.3788/LOP230533WANGY Y， LIUX， HAOX. Advances of confocal microscopy in three-dimensional surface topography measurement［J］. Laser & Optoelectronics Progress， 2023， 60（8）： 3788/LOP230533.（in Chinese）. doi: 10.3788/LOP230533

[2] C S KIM, H YOO. Three-dimensional confocal reflectance microscopy for surface metrology. Measurement Science and Technology, 32, 102002(2021).

[3] K GROCHALSKI, M MENDAK, M JAKUBOWICZ et al. Differences in roughness parameter values from skid and skidless contact stylus profilometers. Advances in Science and Technology Research Journal, 15, 58-70(2021).

[4] [4] 何宝凤， 丁思源， 魏翠娥， 等. 三维表面粗糙度测量方法综述［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（1）： 78-93. doi: 10.3788/ope.20192701.0078HEB F， DINGS Y， WEIC E， et al. Review of measurement methods for areal surface roughness［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（1）： 78-93.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20192701.0078

[5] [5] 吴俊杰， 李源. 基于纳米测量机的微结构三维坐标测量［J］. 光学 精密工程， 2020， 28（10）： 2252-2259. doi: 10.37188/ope.20202810.2252WUJ J， LIY. Three-dimensional coordinate measurement of microstructures based on nano measuring machine［J］. Opt. Precision Eng.， 2020， 28（10）： 2252-2259.（in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20202810.2252

[6] S C JIAO, S X WANG, M G GAO et al. Non-contact method of thickness measurement for thin-walled rotary shell parts based on chromatic confocal sensor. Measurement, 224, 113794(2024).

[7] Q YU, K ZHANG, C C CUI et al. Method of thickness measurement for transparent specimens with chromatic confocal microscopy. Applied Optics, 57, 9722-9728(2018).

[8] Q YU, Y L ZHANG, W J SHANG et al. Thickness measurement for glass slides based on chromatic confocal microscopy with inclined illumination. Photonics, 8, 170(2021).

[9] [9] 李春艳， 李庚鹏， 刘继红， 等. 光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（17）： 2067-2076. doi: 10.37188/OPE.20223017.2067LICH Y， LIG P， LIUJ H， et al. Thickness measurement of radial gradient index lens under eccentricity by spectral confocal method［J］. Opt. Precision Eng.， 2022， 30（17）： 2067-2076.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223017.2067

[10] [10] 阮昊洋， 李加福， 白娴靓， 等. 基于二元衍射的光谱共焦显微位移测量［J］. 中国测试， 2023， 49（2）： 34-41.RUANH Y， LIJ F， BAIX J， et al. Spectral confocal micro displacement measurement based on binary diffraction［J］. China Measurement & Test， 2023， 49（2）： 34-41.（in Chinese）

[11] [11] 白蛟， 李婧雯， 王晓浩， 等. 高精度光谱共焦位移测量技术研究进展［J］. 激光与光电子学进展， 2023， 60（3）： 3788/LOP222679.BAIJ， LIJ W， WANGX H， et al. Research progress of high precision chromatic confocal displacement measurement technology［J］. Laser & Optoelectronics Progress， 2023， 60（3）： 3788/LOP222679.（in Chinese）

[12] [12] 周勇， 李建军， 赵天明， 等. 基于光谱共焦的在线集成表面粗糙度测量方法［J］. 计量学报， 2021， 42（6）： 753-758.ZHOUY， LIJ J， ZHAOT M， et al. A method of on-line integration roughness measurement based on chromatic spectrum confocal［J］. Acta Metrologica Sinica， 2021， 42（6）： 753-758.（in Chinese）

[13] [13] 邵谭彬， 杨克成， 夏珉， 等. 光谱共焦显微成像技术与应用［J］. 激光与光电子学进展， 2023， 60（12）： 3788/LOP222655. doi: 10.3788/LOP222655SHAOT B， YANGK CH， XIAM， et al. Techniques and applications of chromatic confocal microscopy［J］. Laser & Optoelectronics Progress， 2023， 60（12）： 3788/LOP222655.（in Chinese）. doi: 10.3788/LOP222655

[14] [14] 张雅丽， 余卿， 程方， 等. 基于regionprops函数的并行彩色共聚焦测量系统的三维重构［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（1）： 45-55. doi: 10.37188/OPE.20223001.0045ZHANGY L， YUQ， CHENGF， et al. Three-dimensional reconstruction for parallel chromatic confocal measurement system based on regionprops function［J］. Opt. Precision Eng.， 2022， 30（1）： 45-55.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223001.0045

[15] Q YU, C WANG, Y L ZHANG et al. Error analysis and correction of thickness measurement for transparent specimens based on chromatic confocal microscopy with inclined illumination. Photonics, 9, 155(2022).

[16] [16] 李春艳，李丹琳，刘继红等.光谱共焦法厚度测量系统中抖动补偿算法研究［J/OL］.红外与激光工程：1-11. ［2024-01-05］. doi: 10.1109/wcse.2009.385LICH Y， LID L， LIUJ H， et al. Research on jitter compensation algorithm in spectral confocal thickness measurement system ［J/OL］. Infrared and Laser Engineering， 1-11. ［2024-01-05］ （in Chinese）. doi: 10.1109/wcse.2009.385

[17] [17] 彭秋然，吴运权，周鹏等.光谱共焦传感器光轴与被测平板间垂直度误差校准方法［J/OL］.中国测试：1-11. ［2023-12-24］PENGQ R， WUY Q， ZHOUP， et al. Calibration method for verticality error between optical axis of spectral confocal sensor and the measured plate［J/OL］. China Test， 1-11. ［2024-01-05］ （in Chinese）

[18] [18] 张雅丽， 余卿， 尚文键， 等. 斜照明式彩色共聚焦测量系统设计及其实验研究［J］. 中国光学， 2022， 15（3）： 514-524. doi: 10.37188/co.2021-0181ZHANGY L， YUQ， SHANGW J， et al. Chromatic confocal measurement system and its experimental study based on inclined illumination［J］. Chinese Optics， 2022， 15（3）： 514-524.（in Chinese）. doi: 10.37188/co.2021-0181

[19] Q YU, Y L ZHANG, Y ZHANG et al. A novel chromatic confocal one-shot 3D measurement system based on DMD. Measurement, 186, 110140(2021).

[20] [20] 崔长彩， 李煌， 余卿， 等. 彩色共焦系统可调制色散物镜设计［J］. 光学 精密工程， 2017， 25（4）： 875-883. doi: 10.3788/ope.20172504.0875CUICH CH， LIH， YUQ， et al. Design of adjustable dispersive objective lens for chromatic confocal system［J］. Opt. Precision Eng.， 2017， 25（4）： 875-883.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20172504.0875