[1] P P WEI, X LU, D C QIAO et al. Two-dimensional displacement measurement based on two parallel gratings. The Review of Scientific Instruments, 89(2018).

[2] H YU, Q H WAN, Z Y MU et al. Novel nano-scale absolute linear displacement measurement based on grating projection imaging. Measurement, 182, 109738(2021).

[3] [3] 娄志峰， 张汉平， 周竞杰， 等. 二维线性模组空间运动误差实时测量［J］. 光学 精密工程， 2023， 31（21）： 3111-3124. doi: 10.37188/ope.20233121.3111LOUZH F， ZHANGH P， ZHOUJ J， et al. Real-time spatial error measurement of two-dimensional linear module［J］. Opt. Precision Eng.， 2023， 31（21）： 3111-3124.（in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20233121.3111

[4] J LIN, J GUAN, F WEN et al. High-resolution and wide range displacement measurement based on planar grating. Optics Communications, 404, 132-138(2017).

[5] [5] 尹云飞， 刘兆武， 吉日嘎兰图， 等. 二维光栅位移测量技术综述［J］. 中国光学， 2020， 13（6）： 1224-1238. doi: 10.37188/co.2020-0237YINY F， LIUZH W， JIR， et al. Overview of 2D grating displacement measurement technology［J］. Chinese Optics， 2020， 13（6）： 1224-1238.（in Chinese）. doi: 10.37188/co.2020-0237

[6] [6] 石照耀， 张斌， 费业泰. 阿贝原则再认识［J］. 仪器仪表学报， 2012， 33（5）： 1128-1133.SHIZH Y， ZHANGB， FEIY T. Re-visit to the abbe principle［J］. Chinese Journal of Scientific Instrument， 2012， 33（5）： 1128-1133.（in Chinese）

[7] [7] 高旭， 李舒航， 马庆林， 等. 光栅精密位移测量技术发展综述［J］. 中国光学， 2019， 12（4）： 741. doi: 10.3788/CO.20191204.0741GAOX， LISH H， MAQ L， et al. Development of grating-based precise displacement measurement technology［J］. Chinese Optics， 2019， 12（4）： 741.（in Chinese）. doi: 10.3788/CO.20191204.0741

[8] X H LI, W GAO, H MUTO et al. A six-degree-of-freedom surface encoder for precision positioning of a planar motion stage. Precision Engineering, 37, 771-781(2013).

[9] K C FAN, B H LIAO, Y C CHUNG et al. Displacement measurement of planar stage by diffraction planar encoder in nanometer resolution, 8443, 894-897(2012).

[10] [10] 夏豪杰， 费业泰， 范光照， 等. 基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术［J］. 纳米技术与精密工程， 2007（4）： 311-314. doi: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.04.019XIAH J， FEIY T， FANG ZH， et al. 2D nano-displacement measurement with diffraction grating［J］. Nanotechnology and Precision Engineering， 2007（4）： 311-314.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.04.019

[11] PP Heidenhain. datasheet. https：//www.heidenhain.com/fileadmin/pdf/en/01_Products/Prospekte/PRExposed_Linear_Encoders_ID208960_ en.pdf

[12] M BONSE, F ZHU, A J SPRONCK. A new two-dimensional capacitive position transducer. Sensors and Actuator A：Physical, 41-42, 29-32(1994).

[13] P G HARTWELL, R G WALMSLEY, D J FASEN et al. Integrated position sensing for control of XY actuator, 1407-1410(2004).

[14] J P YU, W WANG, K Q LU et al. A planar capacitive sensor for 2D long-range displacement measurement. Journal of Zhejiang University Science C, 14, 252-257(2013).

[15] Y HOJJAT, M R KARAFI, M GHANBARI et al. Development of an inductive encoder for simultaneous measurement of two-dimensional displacement. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 53, 681-688(2011).

[16] [16] 陈自然， 黎锡， 冯曦颉， 等. 基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（6）： 667-677. doi: 10.37188/ope.20223006.0667CHENZ R， LIX， FENGX J， et al. Research on absolute linear time-grating displacement sensor with one-pole-difference structure and analysis of measurement error characteristics［J］. Opt. Precision Eng.， 2022， 30（6）： 667-677.（in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20223006.0667