[1] [1] 1胡逸凡， 章海军， 倪凯佳. 三角放大型压电陶瓷微纳米驱动机构［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（17）： 2094-2099. doi: 10.37188/OPE.20223000.0223HUY F， ZHANGH J， NIK J. Mini-piezo-element drive microactuator based on triangular amplification［J］. Optics and Precision Engineering， 2022， 30（17）： 2094-2099. （in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223000.0223

[2] [2] 2张揽宇， 高健. 高速大行程宏微复合运动平台的振动抑制与精密定位方法研究［J］. 机械工程学报， 2020， 56（11）： 131.ZHANGL Y， GAOJ. Vibration reduction mechanism and precision positioning method for high-speed large-stroke macro-micro composite motion stage［J］. Journal of Mechanical Engineering， 2020， 56（11）： 131.（in Chinese）

[3] [3] 3李冲， 童玉健， 梁康， 等. 压电驱动微型精密夹持机构设计与实验研究［J］. 中国机械工程， 2022， 33（11）： 1302-1308， 1385. doi: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.11.006LICH， TONGY J， LIANGK， et al. Design and experimental study of piezoelectric actuated micro precision clamping mechanisms［J］. China Mechanical Engineering， 2022， 33（11）： 1302-1308， 1385.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.11.006

[4] [4] 4韩世泽， 杨栋， 胡晓宁， 等. 基于涡旋光与平面波干涉的微位移测量［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（17）： 2058-2066. doi: 10.37188/OPE.20223000.0219HANSH Z， YANGD， HUX N， et al. Micro-displacement measurement based on interference of vortex beams and plane wave［J］. Optics and Precision Engineering， 2022， 30（17）： 2058-2066. （in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223000.0219

[5] F CHEN. Design and test of a compact large-stroke dual-drive linear-motion system. Mechanical Systems and Signal Processing, 180, 109438(2022).

[6] N CHEN, X F LIU. Dynamic modeling and attitude decoupling control for a 3-DOF flexible piezoelectric nano-positioning stage based on ADRC. Micromachines, 13, 1591(2022).

[7] Z WU, Q XU. Design， optimization and testing of a compact XY parallel nanopositioning stage with stacked structure. Mechanism and Machine Theory, 126, 171-188(2018).

[8] Y TIAN, Y MA, F WANG et al. A novel XYZ micro/nano positioner with an amplifier based on L-shape levers and half-bridge structure. Sensors and Actuators A： Physical, 302, 111777(2020).

[9] X G CHEN, Y M LI, Y L XIE et al. Design and analysis of new ultra compact decoupled XYZθ stage to achieve large-scale high precision motion. Mechanism and Machine Theory, 167, 104527(2022).

[10] F X CHEN, W DONG, M YANG et al. A PZT actuated 6-DOF positioning system for space optics alignment, 2827-2838(2019).

[11] [11] 11H-860六轴运动六足位移台［Z/OL］. https：//www.pi-china.cn/zh_cn/products/parallel-kinematic-hexapods/h-860-high-dynamics-motion-hexapod-700891，2021. doi: 10.3969/j.issn.2095-509X.2021.08.003H-860 six-axis motion hexapod stage［Z/OL］. https：//www.pi-china.cn/zh_cn/products/parallel-kinematic-hexapods/h-860-high-dynamics-motion-hexapod-700891，2021. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.2095-509X.2021.08.003

[12] [12] 12王耿， 魏维宁， 代军， 等. 线性偏摆复合型压电微动平台［J］. 光学 精密工程， 2022， 30（9）： 1058-1070. doi: 10.37188/OPE.20223009.1058WANGG， WEIW N， DAIJ， et al. Linear yaw compound piezoelectric micro-motion platform［J］. Optics and Precision Engineering， 2022， 30（9）： 1058-1070. （in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223009.1058