作者简介：卢振武(1955-),男,吉林人,研究员,博士生导师,主要从事衍射光学、光学检测及光信息处理等方面的研究.E-mail:luzw@ciomp.ac.cn

作者简介：王东光(1966-),女,北京人,高级工程师,主要从事偏振光学和计量光学的研究.E-mail:wdg@bao.ac.cn

The microrotor is an important part in a Micro-electro-mechanical System(MEMS).For designing and driving the microrotor,the theoretical arithmetic of a wave optical model is investigated.The Finite-differential Time-domain(FDTD)method is used to analyze the electric and magnetic intensity distributions of the scattered light on the surface of the microrotors,and the Maxwell's stress tensor is employed to calculate the force over the rotor surfaces.Finally,the rotor torque on rotation axis and the rotate speed are obtained base on Newton equation.The calculated results agree with the experiments in rotate speed of 200 r/min,which shows the arithmetic can satisfy the requirements of calculating the light-induced force and torque on a complex microrotor,and can used in microrotor design.作者简介：黄文浩(1944-),男,教授,博士研究生导师,主要从事SPM仪器及微纳米技术领域的研究工作.

作者简介：段凤阳(1970-),男,吉林农安人,教授,博士,主要从事组合导航技术的研究.E-mail:duanfengyang@sina.com作者简介：孙百香(1970-),男,河北迁西人,讲师,硕士,主要从事惯性导航技术的研究.E-mail:suanbaixiang@sina.com作者简介：郭伟(1961-),男,辽宁大连人,副教授,主要从事惯性导航技术的研究.E-mail:guowei@xina.com

作者简介：杨晓敏(1980-),女,讲师、博士,主要从事图像处理和图像通信方面的研究;作者简介：陈默(1984-),男,在读博士生,主要从事图像处理和模式识别方面的研究.作者简介：通讯作者:何小海(1964-),男,教授、博士生导师,主要从事图像处理和图像通信、模式识别等方面研究;E-mail:cias@263.net作者简介：通讯作者:郑丽贤(1982-),女,在读硕士研究生,主要从事图像处理与图像通信方面等研究.

作者简介：肖沙里(1953-),男,重庆人,教授,博士,博士生导师,主要研究方向为光学精密仪器、测试及控制等.

作者简介：傅建中(1968-),男,浙江衢州人,教授,博士生导师,主要从事微细加工、精密机械、智能机床、数控技术等方面的研究.E-mail:fjz@zju.edu.cn作者简介：陈子辰(1950-),男,福建福州人,教授,博士生导师,主要从事微细加工、精密机械、精密测量等方面的研究.E-mail:chenzc@zju.edu.cn

作者简介：孙立宁(1964-),男,黑龙江人,教授,博士生导师,主要研究方向为机器人机构与控制、微驱动与微操作机器人、微小型机器人.E-mail:lnsun@hit.edu.cn

作者简介：苏岩(1967-),男,江苏苏州人,教授,工学博士,主要研究方向为MEMS惯性技术.E-mail:suyan@mail.njust.edu.cn

作者简介：于瀛洁(1969-),女,辽宁丹东人,博士生导师,主要从事光学精密测量技术及仪器的研究.E-mail:yingjieyu@staff.shu.edu.cn

作者简介：于瀛洁(1969-),女,辽宁丹东人,研究员,教授,博士生导师,主要从事光学精密测量技术与仪器等方面的研究.E-mail:yingjieyu@staff.shu.edu.cn作者简介：程维明(1955-),男,浙江宁波人,教授,博士生导师,主要从事精密检测、计算机辅助测量、精密机械设计、工程光学等方面的研究.E-mail:wmcheng@staff.shu.edu.cn

作者简介：冯其云(1967-),男,江苏人,硕士研究生,主要从事机电产品创新理论与方法的研究.E-mail:guetf@sina.com

作者简介：刘桂雄(1968-),男,广东揭阳人,教授,博士生导师,主要从事新型智能传感技术,网络化测控技术,制造过程质量检测,建模及控制等方面的研究.E-mail:megxliu@scut.edu.cn

作者简介：刘桂雄(1968-),男,广东揭阳人,教授、博士生导师,主要从事新型智能传感技术,制造过程质量检测、建模及控制等方面的研究.E-mail:megxliu@scut.edu.cn