Acta Photonica Sinica, Volume. 51, Issue 6, 0623003(2022)
Fabrication of Silica Based Silicon 20 Channel Cyclic Arrayed Waveguide Grating
Figures & Tables(17)
Fig. 5. Simulated spectra of different exponential tapered waveguide widths
Fig. 14. Test center wavelength offset of 20 channel cyclic AWG athermal module
Table 1. 20 Ch WDM system center frequency
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Channel HE→TE
/THz
TE→HE
/THz
Channel HE→TE
/THz
TE→HE
/THz
Ch20（λ20/λ46） 194.1 191.5 Ch10（λ10/λ36） 195.1 192.5 Ch19（λ19/λ45） 194.2 191.6 Ch9（λ9/λ35） 195.2 192.6 Ch18（λ18/λ44） 194.3 191.7 Ch8（λ8/λ34） 195.3 192.7 Ch17（λ17/λ43） 194.4 191.8 Ch7（λ7/λ33） 195.4 192.8 Ch16（λ16/λ42） 194.5 191.9 Ch6（λ6/λ32） 195.5 192.9 Ch15（λ15/λ41） 194.6 192.0 Ch5（λ5/λ31） 195.6 193.0 Ch14（λ14/λ40） 194.7 192.1 Ch4（λ4/λ30） 195.7 193.1 Ch13（λ13/λ39） 194.8 192.2 Ch3（λ3/λ29） 195.8 193.2 Ch12（λ12/λ38） 194.9 192.3 Ch2（λ2/λ28） 195.9 193.3 Ch11（λ11/λ37） 195.0 192.4 Ch1（λ1/λ27） 196.0 193.4
Table 2. Design geometric parameters of 1×20 cyclic AWG
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Parameter Value Diffraction order m 74 Roland circle diameter R /μm 5 390.101 Length difference ΔL /μm 78.381 244 3 Wavelength spacing ∆λ /nm 0.788 Input/Output waveguide spacing ∆xo /μm 22 Array waveguide spacing d /μm 10 No. of array waveguides 151 Input taper width /μm 22 Output taper width /μm 10 Array waveguide taper width /μm 9 Center wavelength λ0 /nm 1 536.61
Table 3. Design geometric parameters of 2×20 cyclic AWG
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Parameter Value Diffraction order m 37 Roland circle diameter R /μm 10 780.202 Length difference ΔL /μm 38.935 596 03 Wavelength spacing ∆λ /nm 0.788 Input/Output waveguide spacing ∆xo /μm 22 Array waveguide spacing d /μm 10 No. of array waveguides 301 Input taper width /μm 22 Output taper width /μm 10 Array waveguide taper width /μm 9 Center wavelength λ0 /nm 1 526.61
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Jiashun ZHANG, Junming AN, Bingli SUN, Jun CHEN, Yanzhang HU, Chongxin SHAN. Fabrication of Silica Based Silicon 20 Channel Cyclic Arrayed Waveguide Grating[J]. Acta Photonica Sinica, 2022, 51(6): 0623003
Paper Information
Category: Optical Device
Received: Dec. 15, 2021
Accepted: Mar. 3, 2022
Published Online: Sep. 23, 2022
The Author Email: AN Junming (junming@semi.ac.cn)
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