Acta Photonica Sinica, Volume. 31, Issue 5, 592(2002)
LASER-INTERFEROMETRIC MULTICOORDINATE NANOPOSITIONING SYSTEM
[2] [2] Büchner H,Jger G.Interferometrisches Meβverfahren zur berührungslosen und quasi-punktfrmigen Antastung von Meβoberflchen.Technisches Messen,1992,59(2):43~47
[3] [3] Jger G.Lichtwellenleitergekoppeltes interferenzoptisches Wegmeβsystem.Technisches Messen,1990,57(1):204~206
Get Citation
Copy Citation Text
[in Chinese], [in Chinese], [in Chinese], [in Chinese]. LASER-INTERFEROMETRIC MULTICOORDINATE NANOPOSITIONING SYSTEM[J]. Acta Photonica Sinica, 2002, 31(5): 592