[1] [1] 马云， 陈磊， 刘一鸣， 等. 用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪［J］. 光学 精密工程， 2018， 26（12）： 2873-2880. doi: 10.3788/ope.20182612.2873MAY， CHENL， LIUY M， et al. Reflective shearing point diffraction interferometer for phase defect measurement［J］. Opt. Precision Eng.， 2018， 26（12）： 2873-2880.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20182612.2873

[2] [2] 毛姗姗， 李艳秋， 刘克， 等. 高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计［J］. 红外与激光工程， 2019， 48（8）： 0814002. doi: 10.3788/irla201948.0814002MAOS S， LIY Q， LIUK， et al. Optical design of high numerical aperture extreme ultraviolet lithography objective with freeform surfaces［J］. Infrared and Laser Engineering， 2019， 48（8）： 0814002.（in Chinese）. doi: 10.3788/irla201948.0814002

[3] [3] 刘景峰， 李艳秋， 刘克. 移相式点衍射干涉仪的几个关键技术［J］. 仪器仪表学报， 2007， 28（S1）： 179-182.LIUJ F， LIY Q， LIUK. Technical problems in phase-shifting point diffraction interferometer［J］. Chinese Journal of Scientific Instrument， 2007， 28（S1）： 179-182.（in Chinese）

[4] [4] 高芬， 蒋庄德， 李兵， 等. 基于扩展平均的多步相移算法及误差抑制特性比较［J］. 光子学报， 2014， 43（4）： 0426001. doi: 10.3788/gzxb20144304.0426001GAOF， JIANGZ D， LIB， et al. Multi-step phase-shifting algorithm based on extended averaging technique and its error suppression characteristics comparison［J］. Acta Photonica Sinica， 2014， 43（4）： 0426001.（in Chinese）. doi: 10.3788/gzxb20144304.0426001

[5] R M GOLDSTEIN, H A ZEBKER, C L WERNER. Satellite radar interferometry： two-dimensional phase unwrapping. Radio Science, 23, 713-720(1988).

[6] H P ZHONG, J S TANG, S ZHANG et al. An improved quality-guided phase-unwrapping algorithm based on priority queue. IEEE Geoscience and Remote Sensing Letters, 8, 364-368(2011).

[7] [7] 郭仁慧， 李建欣， 朱日宏. 基于DCT算法的种子点相位解包算法［J］. 光学学报， 2012， 32（2）： 0212006. doi: 10.3788/aos201232.0212006GUOR H， LIJ X， ZHUR H. Seed point unwrapping algorithm based on DCT algorithm［J］. Acta Optica Sinica， 2012， 32（2）： 0212006.（in Chinese）. doi: 10.3788/aos201232.0212006

[8] [8] 张通， 高芬， 李兵， 等. 非对准高斯光束入射下的小孔衍射光强分布［J］. 激光与光电子学进展， 2021， 58（19）： 1905001.ZHANGT， GAOF， LIB， et al. Diffraction intensity distribution of pinhole for misaligned Gaussian beam incidence［J］. Laser & Optoelectronics Progress， 2021， 58（19）： 1905001.（in Chinese）

[9] V BADRINARAYANAN, A KENDALL, R CIPOLLA. SegNet： a deep convolutional encoder-decoder architecture for image segmentation. IEEE Transactions on Pattern Analysis and Machine Intelligence, 39, 2481-2495(2017).

[10] K T YAN, Y J YU, T SUN et al. Wrapped phase denoising using convolutional neural networks. Optics and Lasers in Engineering, 128, 105999(2020).

[11] [11] 张伟， 余浩， 袁波， 等. 基于高倍率细胞内镜系统的细胞核分割［J］. 光学 精密工程， 2021， 29（11）： 2574-2580. doi: 10.37188/OPE.2021.0324ZHANGW， YUH， YUANB， et al. Nuclear segmentation based on endocytoscopy system with high magnification［J］. Opt. Precision Eng.， 2021， 29（11）： 2574-2580.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.2021.0324

[12] [12] 赵星， 刘桐君， 陈平， 等. 利用深度学习扩展非接触扩散光学层析成像系统中探测器的动态范围［J］. 光学 精密工程， 2021， 29（11）： 2529-2538. doi: 10.37188/OPE.2021.0219ZHAOX， LIUT J， CHENP， et al. Extending dynamic range of detector in non-contact diffuse optical tomography system using deep learning［J］. Opt. Precision Eng.， 2021， 29（11）： 2529-2538.（in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.2021.0219

[13] G E SPOORTHI, S GORTHI, R K S S GORTHI. PhaseNet： a deep convolutional neural network for two-dimensional phase unwrapping. IEEE Signal Processing Letters, 26, 54-58(2019).

[14] J C ZHANG, X B TIAN, J B SHAO et al. Phase unwrapping in optical metrology via denoised and convolutional segmentation networks. Optics Express, 27, 14903-14912(2019).

[15] K WANG, Y LI, Q KEMAO et al. One-step robust deep learning phase unwrapping. Optics Express, 27, 15100-15115(2019).

[16] T ZHANG, S JIANG, Z ZHAO et al. Rapid and robust two-dimensional phase unwrapping via deep learning. Optics Express, 27, 23173-23185(2019).

[17] Z ZHAO, B LI, X Q KANG et al. Phase unwrapping method for point diffraction interferometer based on residual auto encoder neural network. Optics and Lasers in Engineering, 138, 106405(2021).

[18] Z ZHAO, B LI, J S LU et al. One-shot phase retrieval method for interferometry using a hypercolumns convolutional neural network. Optics Express, 29, 16406-16421(2021).

[19] L C CHEN, G PAPANDREOU, I KOKKINOS et al. DeepLab： semantic image segmentation with deep convolutional nets， atrous convolution， and fully connected CRFs. IEEE Transactions on Pattern Analysis and Machine Intelligence, 40, 834-848(2018).

[20] [20] 孙晓敏， 朱晓春， 周雯超， 等. 基于Hough变换实现圆的快速检测方法［J］. 制造业自动化， 2018， 40（5）： 115-119. doi: 10.3969/j.issn.1009-0134.2018.05.029SUNX M， ZHUX C， ZHOUW C， et al. Fast detection of circle based on Hough transform［J］. Manufacturing Automation， 2018， 40（5）： 115-119.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1009-0134.2018.05.029