[1] [1] 王伟， 赵甜甜， 刘强， 等. Mini/Micro LED巨量转移技术研究与发展现状［J］. 光学 精密工程， 2023， 31（2）： 183-199. doi: 10.37188/ope.20233102.0183WANGW， ZHAOT T， LIUQ， et al. Research and development status of Mini/Micro LED mass transfer technology［J］. Opt. Precision Eng.， 2023， 31（2）： 183-199.（in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20233102.0183

[2] [2] 严子雯， 严群， 李典伦， 等. 高度集成的μLED显示技术研究进展［J］. 发光学报， 2020， 41（10）： 1309-1317. doi: 10.37188/CJL.20200191YANZ W， YANQ， LID L， et al. Research progress of high integration density μLED display technology［J］. Chinese Journal of Luminescence， 2020， 41（10）： 1309-1317.（in Chinese）. doi: 10.37188/CJL.20200191

[3] [3] 张娟， 焦志强， 闫华杰， 等. 微腔效应对顶发射串联蓝光有机电致发光器件性能的影响［J］. 物理学报， 2020， 69（9）： 229-243. doi: 10.7498/aps.69.20191576ZHANGJ， JIAOZH Q， YANH J， et al. Influence of microcavity effect on the performance of top emission tandem blue organic light emitting devices［J］. Acta Physica Sinica， 2020， 69（9）： 229-243.（in Chinese）. doi: 10.7498/aps.69.20191576

[4] J ZHANG, Z Q JIAO, H J YAN et al. Influence of microcavity effect on the performance of top emission tandem blue organic light emitting devices. Acta Phys, 69, 229-243(2020).

[5] [5] 潘祚坚， 陈志忠， 焦飞， 等. 面向显示应用的微米发光二极管外延和芯片关键技术综述［J］. 物理学报， 2020， 69（19）： 70-93， 383. doi: 10.7498/aps.69.20200742PANZ J， CHENZH ZH， JIAOF， et al. A review of key technologies for epitaxy and chip process of micro light-emitting diodes in display application［J］. Acta Physica Sinica， 2020， 69（19）： 70-93， 383.（in Chinese）. doi: 10.7498/aps.69.20200742

[6] G Q ZHU, Y J LIU, R MING et al. Mass transfer， detection and repair technologies in micro-LED displays. Science China Materials, 65, 2128-2153(2022).

[7] [7] 孙宁宁， 杨彪， 陈福荣， 等. 激光辅助MicroLED巨量转移技术进展［J］. 中国科学： 技术科学， 2022， 52（4）： 513-528.SUNN N， YANGB， CHENF R， et al. Advances in laser-assisted mass transfer of MicroLED［J］. Scientia Sinica （Technologica）， 2022， 52（4）： 513-528.（in Chinese）

[8] M MASTRANGELI, S ABBASI, C VAREL et al. Self-assembly from milli- to nanoscales： methods and applications. Journal of Micromechanics and Microengineering, 19, 83001(2009).

[9] J Y LI, B Q LUO, Z J LIU. Micro-LED mass transfer technologies, 12, 1-3(2020).

[10] M K KELLY, O AMBACHER, R DIMITROV et al. Optical process for liftoff of group III-nitride films. Physica Status Solidi （a）, 159, R3-R4(1997).

[11] J BOHANDY, B F KIM, F J ADRIAN. Metal deposition from a supported metal film using an excimer laser. Journal of Applied Physics, 60, 1538-1539(1986).

[12] M H WU, Y H FANG, C H CHAO. Electric-programmable magnetic module and picking-up and placement process for electronic devices.

[13] M A MEITL, Z T ZHU, V KUMAR et al. Transfer printing by kinetic control of adhesion to an elastomeric stamp. Nature Materials, 5, 33-38(2006).

[14] A BIBL, J A HIGGINSON, H F S LAW et al. Micro device transfer head heater assembly and method of transferring a micro device.

[15] [15] 邓应铖，曾逸.一种针刺式固晶机：CN113539935A［P］. 2021-10-22. doi: 10.2115/fiber.22.448DENGY CH，ZENGY.A needle punched crystal solidification machine： CN113539935A［P］. 2021-10-22. （in Chinese）. doi: 10.2115/fiber.22.448

[16] J X JIN, L H ZHENG, W XU et al. Experimental study on thrust and normal force of a permanent magnet linear synchronous motor, 20, 1-6(2011).

[17] X Z HUANG, J LI, C M ZHANG et al. Electromagnetic and thrust characteristics of double-sided permanent magnet linear synchronous motor adopting staggering primaries structure. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 66, 4826-4836(2019).

[18] [18] 王荣坤， 于作超， 王杰. X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（7）： 1536-1543. doi: 10.3788/ope.20192707.1536WANGR K， YUZ CH， WANGJ. Active compensation of contour error of X-Y linear motor precision motion platform［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（7）： 1536-1543.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20192707.1536

[19] [19] 刘强， 赵勇， 代峰燕， 等. 磁悬浮陀螺飞轮用隐式洛伦兹力磁轴承［J］. 光学 精密工程， 2018， 26（2）： 399-409. doi: 10.3788/ope.20182602.0399LIUQ， ZHAOY， DAIF Y， et al. Novel internal Lorentz magnetic bearing for magnetic bearing gyrowheel［J］. Opt. Precision Eng.， 2018， 26（2）： 399-409.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20182602.0399

[20] [20] 许金， 杨归， 李明珂， 等. 永磁直线同步电机Halbach阵列电磁激振力建模［J］. 海军工程大学学报， 2023， 35（5）： 46-51. doi: 10.7495/j.issn.1009-3486.2023.05.008XUJ， YANGG， LIM K， et al. Modeling of electromagnetic excitation force in Halbach array of permanent magnet linear syschronous motors［J］. Journal of Naval University of Engineering， 2023， 35（5）： 46-51.（in Chinese）. doi: 10.7495/j.issn.1009-3486.2023.05.008

[21] [21] 刘强， 赵勇， 王伟， 等. 一种U形聚磁效应的隐式洛伦兹力偏转磁轴承： CN106763187B［P］. 2018-11-02.LIUQ， ZHAOY， WANGW， et al. Hidden Lorentz force deflection magnetic bearing with U-shaped magnetism gathering effect： CN106763187B［P］. 2018-11-02.（in Chinese）

[22] [22] 黄卫清， 杨成龙， 沈兆琛， 等. 低压驱动Ⅴ形直线超声电机的设计［J］. 光学 精密工程， 2021， 29（1）： 91-99. doi: 10.37188/ope.20212901.0091HUANGW Q， YANGCH L， SHENZH CH， et al. Design of Ⅴ-shaped linear ultrasonic motor driven with low-voltage［J］. Opt. Precision Eng.， 2021， 29（1）： 91-99.（in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20212901.0091

[23] [23] 张予希，颜建虎，池松，等 ．考虑端部效应的动子无源型Halbach磁悬浮永磁直线电机电磁力分析［J］.电机与控制学报：1-9［2023-09-01］.ZHANGY X，YANJ H，CHIS，et al. Electromagnetic force analysis of passive mover Halbach maglev permanent magnet linear synchronous motor considering end effects［J］. Electric Machines and Control，1-9［2023-09-01］.（in Chinese）.

[24] [24] 缪仲翠， 苏乙， 张磊， 等. 梯形Halbach交替极无铁心永磁同步直线电机特性分析与优化设计［J］. 电机与控制学报， 2024， 28（1）： 164-176.MIAOZ C， SUY， ZHANGL， et al. Characteristic analysis and optimization design of air-core permanent magnet linear synchronous motor with trapezoidal Halbach array consequent-pole［J］. Electric Machines and Control， 2024， 28（1）： 164-176.（in Chinese）

[25] [25] 张鲁， 寇宝泉， 赵斌超， 等. 新型Halbach次级结构永磁同步直线电机［J］. 电工技术学报， 2013， 28（7）： 39-45. doi: 10.3969/j.issn.1000-6753.2013.07.006ZHANGL， KOUB Q， ZHAOB CH， et al. A novel synchronous permanent magnet linear motor with halbach secondary structure［J］. Transactions of China Electrotechnical Society， 2013， 28（7）： 39-45.（in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1000-6753.2013.07.006

[26] [26] 李立毅， 唐勇斌， 刘家曦， 等. 多种群遗传算法在无铁心永磁直线同步电机优化设计中的应用［J］. 中国电机工程学报， 2013， 33（15）： 69-77， 14.LIL Y， TANGY B， LIUJ X， et al. Application of the multiple population genetic algorithm in optimum design of air-core permanent magnet linear synchronous motors［J］. Proceedings of the CSEE， 2013， 33（15）： 69-77， 14.（in Chinese）

[27] [27] 刘强， 赵明师， 韩邦成， 等. 永磁偏置径向磁轴承能量优化与实验［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（11）： 2420-2428. doi: 10.3788/ope.20192711.2420LIUQ， ZHAOM SH， HANB CH， et al. Energy optimization and experimental for a permanent magnet-biased redial magnetic bearing［J］. Optics and Precision Engineering， 2019， 27（11）： 2420-2428.（in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20192711.2420