[1] J. H. Lee, S. S. Yun, Y. Y. Kim, K. W. Jo. Appl. Opt., 43, 877(2004).

[2] S. H. Hung, H. T. Hsieh, G. D. J. Su. J. Micromech. Microeng., 18, 075003(2008).

[3] X. M. Zhang, A. Q. Liu, H. Cai, A. B. Yu, C. Lu. IEEE Photon. Technol. Lett., 19, 692(2007).

[4] C. H. Kim, Y. K. Kim. J. Micromech. Microeng., 15, 1466(2011).

[5] H. Schenk, P. Dürr, D. Kunze, H. Lakner, H. Kück. Sens. Actuators A Phys., 89, 104(2001).

[6] C. Marxer, P. Griss, N. F. D. Rooij. IEEE Photon. Technol. Lett., 11, 233(1999).

[7] R. Soref. Photon. Res., 2, 102(2014).

[8] A. N. Z. Rashed, A. E. A. Mohammed, O. M. A. Dardeer. Chin. Opt. Lett., 12, 050602(2014).

[9] L. Yang, Y. Liu, Y. Cheng, W. Wang, Q. Wang. Opt. Eng., 42, 606(2003).

[10] Y. O. Noh, C. H. Lee, J. M. Kim, W. Y. Hwang, Y. H. Won, H. J. Lee, S. G. Han, M. C. Oh. Opt. Commun., 242, 533(2004).

[11] G. Z. Xiao, Z. Zhang, C. P. Grover. IEEE Photon. Technol. Lett., 16, 2511(2004).

[12] D. Wang, C. Liu, Q. Wang, X. Zhou. Chin. Opt. Lett., 12, 121102(2014).

[13] X. Jiang, D. Chen, G. Feng, J. Yang. Chin. Opt. Lett., 12, 050601(2014).

[14] P. Muller, A. Kloss, P. Liebetraut, W. Monch, H. Zappe. J. Micromech. Microeng., 21, 125027(2011).

[15] L. Zhu, Y. Y. Huang, A. Yariv. Opt. Express, 13, 9916(2005).

[16] H. Ren, S. Xu, D. Ren, S. T. Wu. Opt. Lett., 37, 1421(2012).

[17] M. I. Lapsley, S.C. S. Lin, X. L. Mao, T. J. Huanga. Appl. Phys. Lett., 95, 083507(2009).

[18] C. U. Murade, J. M. Oh, D. V. D. Ende, F. Mugele. Opt. Express, 19, 15525(2011).

[19] S. A. Reza, N. A. Riza. Opt. Commun., 282, 1298(2009).

[20] S. H. Hung, H. T. Hsieh, G. D. J. Su. J. Micromech. Microeng., 18, 075003(2008).

[21] N. A. Riza, S. A. Khan. Appl. Opt., 43, 3449(2004).

[22] S. Xu, H. Ren, J. Sun, S. T. Wu. Opt. Express, 20, 17059(2012).

[23] K. Takizawa, K. Kodama, K. Kishi. Appl. Opt., 37, 3181(1998).

[24] Y. H. Fan, Y. H. Lin, H. Ren, S. Gauza, S. T. Wu. Appl. Phys. Lett., 84, 1233(2004).