[1] O. Wooda, C. S. Koay, K. Petrillo, H. Mizuno, S. Raghunathan, J. Arnold, D. Horak, M. Burkhardt, G. McIntyre, Y. Deng, B. L. Fontaine, U. Okoroanyanwu, A. Tchikoulaeva, T. Wallow, J. H.-C. Chen, M. Colburn, S. S.-C. Fan, B. S. Haran, Y. Yin. Proc. SPIE, 7271, 727104(2009).

[2] M. Kerkhof, H. Jasper, L. Levasier, R. Peeters, R. van Es, J. W. Bosker, A. Zdravkov, E. Lenderink, F. Evangelista, P. Broman, B. Bilski, T. Last. Proc. SPIE, 10143, 101430D(2017).

[3] E. Hotta, Y. Sakai, Y. Hayashi, G. Niimi, B. Huang, Q. Zhu, I. Song, M. Watanabe. International Conference on Optical and Photonic Engineering(2015).

[4] A. Endo. Conference on Lasers and Electro-Optics(2015).

[5] H. Chen, X. B. Wang, L. Duan, H. Lan, Z. Chen, D. Zuo, P. Lu. J. Appl. Phys., 117, 193302(2015).

[6] M. Benk, K. Bergmann. J. Micro-Nanolith. Mem., 11, 021106(2012).

[7] K. Koshelev, V. Y. Banine, V. Ivanov, G. Zukakishvili. Sematech EUVL Source Workshop(2002).

[8] V. M. Borisov, A. V. Eltsov, A. S. Ivanov, Y. B. Kiryukhin, O. B. Khristoforov, V. A. Mishchenko, A. V. Prokofiev, A. Y. Vinokhodov, V. A. Vodchits. J. Phys. D, 37, 3254(2004).

[9] M. Yoshioka, P. Zink, G. Schriever, M. Corthout. Proc. SPIE, 7140, 71401F(2008).

[10] P. Lu, S. Katsuki, N. Tomimaru, T. Ueno, H. Akiyama. Jpn. J. Appl. Phys., 49, 096202(2010).

[11] S. Lim, S. Kitajima, P. Lu, T. Sakugawa, H. Akiyama, S. Katsuki, Y. Teramoto. Jpn. J. Appl. Phys., 54, 01AA01(2015).

[12] G. A. Beyene, I. Tobin, L. Juschkin, P. Hayden, G. O’Sullivan, E. Sokell, V. S. Zakharov, S. V. Zakharov, F. O’Reilly. J. Phys. D, 49, 225201(2016).

[13] S. Lim, T. Kamohara, S. H. R. Hosseini, S. Katsuki. J. Phys. D, 49, 295207(2016).

[14] X. Q. Li. Research of 13.5 nm extreme ultraviolet radiation from tin plasma produced by laser-assisted discharge(2014).

[15] I. Tobin. Optical and EUV studies of laser triggered Z-pinch discharge(2014).

[16] T. He, C. Wei, Z. Jiang, Z. Yu, Z. Cao, J. Shao. Chin. Opt. Lett., 16, 041401(2018).

[17] Q. Shi, Y. Zhang, K. Wang, C. Wang, P. Zhao. Chin. Opt. Lett., 16, 121401(2018).

[18] R. D. Cowan. J. Opt. Soc. Am., 58, 808(1968).

[19] D. Colombant, G. F. Tonon. J. Appl. Phys., 44, 3524(1973).

[20] G. O’Sullivan, B. Li, R. D’Arcy, P. Dunne, P. Hayden, D. Kilbane, T. McCormack, H. Ohashi, F. O’Reilly, P. Sherdian. J. Phys. B, 48, 144025(2015).