[1] [1] 李焱， 张磊， 刘春时，等. 高速龙门五轴加工中心静刚度分析与结构优化［J］. 组合机床与自动化加工技术， 2011（6）： 9-11，16. doi: 10.3969/j.issn.1001-2265.2011.06.003LIY， ZHANGL， LIUC S， et al. Static rigidity analysis and structure optimization of 5-axis gantry-type machine center ［J］. Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique， 2011（6）： 9-11，16. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1001-2265.2011.06.003

[2] R RAMESH, A M MANNAN, N A POO. Error compensation in machine tools -- a review Part I： geometric， cutting-force induced and fixture-dependent errors. International Journal of Machine Tools Manufacture： Design， Research and Application, 40, 1235-1256(2000).

[3] [3] 刘又午， 章青， 赵小松等. 基于多体理论模型的加工中心热误差补偿技术［J］. 机械工程学报， 2002， 38（1）： 127-130. doi: 10.3321/j.issn:0577-6686.2002.01.031LIUY W， ZHANGQ， ZHAOX S， et al. Multi-body system-based technique for compensating thermal errors in machining centers ［J］. Chinese Journal of Mechanical Engineering， 2002， 38（1）： 127-130. （in Chinese）. doi: 10.3321/j.issn:0577-6686.2002.01.031

[4] [4] 包丽， 张洪军. 龙门式铣镗加工中心垂直度超差的工艺补偿研究［J］. 机床与液压， 2016， 44（13）： 14-18. doi: 10.3969/j.issn.1001-3881.2016.13.004BAOL， ZHANGH J. Process compensation research of perpendicularity out-of-tolerance of gantry milling boring machining center ［J］. Machine Tool & Hydraulics， 2016， 44（13）： 14-18. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1001-3881.2016.13.004

[5] [5] 林荣炜，程真英，何亚雄等.XY工作台六自由度误差在线测量和补偿［J］. 光学精密工程， 2023， 31（12）： 1761-1773. doi: 10.37188/ope.20233112.1761LINRW， CHENGZ Y， HEY X， et al. On-line six-degree-of-freedom errors measurement and compensation for XY stages［J］ .Optics and Precision Engineering， 2023， 31（12）： 1761-1773. （in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20233112.1761

[6] [6] 接明，王树杰，孙彦斌. 利用激光干涉仪对重大型数控机床两线性轴间垂直度测量方法的探索［J］. 计量技术，2009（5）：32-36. doi: 10.3969/j.issn.1000-0771.2009.05.009JIE M， WANGS J， SUNY B. Research on the method of measuring perpendicularity between two linear axes of heavy and large CNC machine tools by laser interferometer ［J］. Metrology Technology， 2009（5）： 32-36. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1000-0771.2009.05.009

[7] [7] 李杰， 陶文坚， 徐强等. 一种基于激光干涉仪的大型龙门机床平动轴垂直度误差检测方法［J］. 制造技术与机床， 2020（10）： 21-26. doi: 10.19287/j.cnki.1005-2402.2020.10.004LIJ， TAOW J， XUQ， et al. A laser interferometer based linear axes squareness error identification method for large gantry machine tools ［J］. Manufacturing Technology & Machine Tool， 2020（10）： 21-26. （in Chinese）. doi: 10.19287/j.cnki.1005-2402.2020.10.004

[8] G CHEN, J YUAN, J NI. A displacement measurement approach for machine geometric error assessment. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 41, 149-161(2001).

[9] S ZHU, G DING, S QIN et al. Integrated geometric error modeling， identification and compensation of CNC machine tools. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 52, 24-29(2012).

[10] C WANG. Laser vector measurement technique for the determination and compensation of volumetric positioning errors. Part I： Basic theory. Review of Scientific Instruments, 71, 3933(2000).

[11] [11] 李欢玲， 吴洪涛. 三坐标数控机床的几何误差参数辨识［J］. 机械制造， 2008， 46（254）： 5-7. doi: 10.3969/j.issn.1000-4998.2008.04.002LIH L， WUH T. Error parameter identification for 3-axis NC machine tools ［J］. Machinery， 2008， 46（254）： 5-7. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1000-4998.2008.04.002

[12] [12] 任永强， 杨建国， 沈金华等. 基于体对角线的机床垂直度误差的高效测量分析［J］. 中国机械工程， 2005， 16（16）： 1435-1438. doi: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.16.007RENY Q， YANGJ G， SHENJ H， et al. Analysis on efficient measurement of squareness errors along body diagonals for machine tools ［J］. China Mechanical Engineering， 2005， 16（16）： 1435-1438. （in Chinese）. doi: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.16.007

[13] [13] 王阳恩. 一种小行程导轨垂直度测量方法［J］. 光电子.激光， 2013， 24（1）： 119-122.WANGY E. Method for measuring the squareness of small-scale guide rails［J］. Journal of Optoelectronics Laser， 2013， 24（1）： 119-122. （in Chinese）

[14] [14] 王磊杰，郭子文，叶伟楠，等.超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统［J］. 光学精密工程， 2022， 30（5）： 499-509. doi: 10.37188/OPE.20223005.0499WANGL J， GUOZ W， YEW N， et al. Ultra-precision spatial-separated heterodyne Littrow grid encoder displacement measurement system［J］. Optics and Precision Engineering， 2022， 30（5）： 499-509. （in Chinese）. doi: 10.37188/OPE.20223005.0499

[15] J B BRYAN. A simple method for testing measuring machines and machine tools Part 1： Principles and applications. Precision Engineering, 4, 61-69(1982).

[16] J M LAI, J S LIAO, W H CHIENG. Modeling and analysis of nonlinear guideway for double-ball bar （DBB） measurement and diagnosis. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 37, 687-707(1997).

[17] [17] 沈云波， 刘建亭， 李济顺. 机床误差的正交光栅检测及分离［J］. 河南科技大学学报（自然科学版）， 2003， 24（3）： 37-39. doi: 10.3969/j.issn.1672-6871.2003.03.012SHENY B， LIUJ T， LIJ SH. Measurement and differentiating of machine tool errors by cross grid encoder ［J］. Journal of Henan University of Science and Technology （Natural Science）， 2003， 24（3）： 37-39. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1672-6871.2003.03.012

[18] [18] 朱俊豪， 汪盛通， 李星辉. 面向光刻机晶圆台的超精密光栅定位技术［J］. 激光与光电子学进展， 2022， 59（9）： 320-336. doi: 10.3788/LOP202259.0922019ZHUJ H， WANGSH T， LIX H. Ultraprecision grating positioning technology for wafer stage of lithography machine ［J］. Laser & Optoelectronics Progress， 2022， 59（9）： 320-336. （in Chinese）. doi: 10.3788/LOP202259.0922019

[19] (20240313). https：//www.iso.org/standard/79155.html

[20] [20] 韩林， 米良， 刘兴宝等. 应用激光跟踪仪的三坐标测量机几何误差检测方法［J］. 工程科学与技术， 2021， 53（3）： 159-165. doi: 10.15961/j.jsuese.202000320HANL， MIL， LIUX B， et al. Measurement method of geometric error of coordinate measuring machine using laser tracer ［J］. Advanced Engineering Sciences， 2021， 53（3）： 159-165. （in Chinese）. doi: 10.15961/j.jsuese.202000320

[21] [21] 金黎雷. 激光干涉仪在XY工作台测量中的应用［J］. 电子工业专用设备， 2020（284）： 37-41.JINL L. Application of laser interferometer in XY table measurement ［J］. Equipment for Electronic Products Manufacturing， 2020（284）： 37-41. （in Chinese）

[22] [22] 蔡秀玉， 刘根发. 一种五角分光棱镜： 201621335283.6［P］. 2017-06-13. doi: 10.1007/springerreference_21193CAIX Y， LIUG F. A penta prism beamsplitter： 201621335283.6［P］. 2017-06-13. （in Chinese）. doi: 10.1007/springerreference_21193

[23] [23] 郭敬滨， 张国雄. 快速检测三坐标测量机垂直度误差的新方法［J］. 天津大学学报， 2003， 36（3）： 293-295. doi: 10.3969/j.issn.0493-2137.2003.03.009GUOJ B， ZHANGG X. A method for fast measurement of squareness errors of CMM with Renishaw check gauge ［J］. Journal of Tianjin University， 2003， 36（3）： 293-295. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.0493-2137.2003.03.009

[24] [24] 罗凯元， 杨霖， 郑文炜等. 一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法： 202311450420.5［P］. 2023-12-29. doi: 10.37188/ope.20243217.2654LUOK Y， YANGL， ZHENGW W， et al. A perpendicularity measurement device and method for 3-axis motion platform： 202311450420.5［P］. 2023-12-29. （in Chinese）. doi: 10.37188/ope.20243217.2654

[25] [25] 温中凯，张庆君，李爽，等.五棱镜角度制造误差对转向角的影响［J］.航天返回与遥感，2020，41（3）：93-101. doi: 10.3969/j.issn.1009-8518.2020.03.011WENZH K， ZHANGQ J，LISH，et al. Impact analysis of the angular manufacturing error of pentaprism on the steering angle［J］. Spacecraft Recovery & Remote Sensing， 2020，41（3）：93-101. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1009-8518.2020.03.011

[26] [26] 孙振江.五棱镜的测量及精度分析［J］.宇航计测技术，1985（4）：21-24.SUNZH J. Measurement and its accuracy analysis of the Penta-prism ［J］. Journal of Astronautic Metrology and Measurement， 1985（4）：21-24. （in Chinese）

[27] [27] 测量不确定度评定与表示：JJF 1059.1-2012 ［S］. 北京：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局，2012. doi: 10.2753/clg0009-4609450108Evaluation and Expression of Uncertainty in Measurement：JJF 1059.1-2012 ［S］. Beijing： General Administration of Quality Supervision， Inspection and Quarantine of the People's Republic of China， 2012. （in Chinese）. doi: 10.2753/clg0009-4609450108

[28] [28] 计量比对：JJF 1117-2010 ［S］. 北京：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局，2010. doi: 10.12173/j.issn.1004-5511.202302011Measurement Comparison： JJF 1117-2010 ［S］. Beijing： General Administration of Quality Supervision， Inspection and Quarantine of the People's Republic of China， 2010. （in Chinese）. doi: 10.12173/j.issn.1004-5511.202302011